卷對卷連續(xù)化生長CVD設備RTR-III-80-安徽貝意克設備技術有限公司

設備簡介：

該設備為我司研發(fā)用于石墨烯薄膜連續(xù)生長或者線性材料的連續(xù)的專用設備，此款設備是快速冷卻卷對卷CVD連續(xù)生長爐，它由高溫生長腔體，三路質(zhì)量流量計氣路系統(tǒng)，真空機組，石英管，冷卻裝置，收放卷的密封裝置，自動化控制系統(tǒng)組成，兩端分別安裝有進料進氣真空腔室和出料排氣真空腔室（即收放銅箔或纖維絲的密封裝置），收放密封裝置內(nèi)分別對應安裝有放卷滾輪和收卷滾輪，所輸出料排氣腔體與爐體之間安裝有冷卻裝置。相對于現(xiàn)有技術具有快速冷卻、連續(xù)生長的優(yōu)點，可以進行大面積、高質(zhì)量石墨烯的規(guī)?；L或者線性材料的連續(xù)生長。（纖維生長工藝，配有纖維張力計，可以通過調(diào)節(jié)電機轉(zhuǎn)速，以便達到纖維連續(xù)進出且受力均勻）

1.加熱系統(tǒng)

溫度	1200℃
使用溫度	≤1100℃
爐膛有效尺寸	Φ80mm（適用于2-3英寸樣品，爐管直徑可根據(jù)實際需要定制。）
爐膛材料	氧化鋁、高溫纖維制品
熱電偶類型	K型熱電偶
控溫精度	±1℃
控溫方式	30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定，操作界面為7”工控電腦，內(nèi)置PLC控制程序。
加熱長度	200+200+200mm
加熱原件	電阻絲
供電電源	單相，220V，50Hz

2、三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)

連接頭類型	雙卡套不銹鋼接頭
標準量程（N₂)	200sccm，500sccm、1000sccm（可根據(jù)用戶要求定制）
準確度	±1.5%F.S
線性	±1%F.S
重復精度	±0.2%F.S
響應時間	氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec
工作壓差范圍	0.1～0.5 MPa
壓力	3MPa
接口	Φ6,1/4''
顯示	4位數(shù)字顯示
工作環(huán)境溫度	5~45高純氣體
壓力真空表	－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止閥	Φ6
內(nèi)外雙拋不銹鋼管	Φ6

3、低真空機組

空氣相對濕度	≤85%
工作環(huán)境	5℃～40℃
工作電電壓	220V±10% 50~60HZ
功率	1KW
抽氣速率	10m³/h
極限真空	5X10-1Pa
工作壓力范圍	1.01325X10⁵～1.33X10^-2Pa
耐壓值	0.03MPa
容油量	1.1L
進氣口口徑	KF25
排氣口口徑	KF25
噪音	50dB
連接方式	采用波紋管，手動擋板閥與波紋管相連