【儀表儀表網(wǎng) 儀表研發(fā)】3月15日，國家重點研發(fā)計劃“重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)”重點專項“微納結(jié)構(gòu)動態(tài)特性測試儀”項目在天津啟動。該項目未來可實現(xiàn)對精密元器件“納米”級別的檢測，彌補人力識別檢測的不足，為天津先進制造業(yè)發(fā)展提供支撐。該項目共投資1448萬元，實施周期為3年。
 

 

　　“微納結(jié)構(gòu)動態(tài)特性測試儀”項目由天地偉業(yè)技術(shù)有限公司牽頭，聯(lián)合清華大學(xué)、余姚舜宇智能光學(xué)技術(shù)有限公司、中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所、天津大學(xué)等8家單位共同承擔(dān)。

 

　　科學(xué)儀器設(shè)備是科學(xué)研究和技術(shù)創(chuàng)新的基石，是經(jīng)濟社會發(fā)展和國防安全的重要保障。但是目前，我國元器件測量依賴于進口儀器設(shè)備。因此，我國將“微納結(jié)構(gòu)動態(tài)特性測試儀”項目列入“國家重點研發(fā)計劃”，支持國產(chǎn)化高精度儀器研究和產(chǎn)業(yè)化。而目前天津正在重點打造人工智能、新能源新材料、生物醫(yī)藥等重點高科技產(chǎn)業(yè)，尤其是微納制造領(lǐng)域具有一定優(yōu)勢。
 

　　“微納結(jié)構(gòu)動態(tài)特性測試儀”項目主要針對微納結(jié)構(gòu)與微機電系統(tǒng)(MEMS)器件動態(tài)特性測試的需求，突破高信噪比時空調(diào)制和自動調(diào)焦等關(guān)鍵技術(shù)，開發(fā)具有自主知識產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠、核心部件國產(chǎn)化的微納結(jié)構(gòu)動態(tài)特性測試儀，開發(fā)相關(guān)軟件和數(shù)據(jù)庫，實現(xiàn)微納結(jié)構(gòu)與MEMS器件的振動頻率、模式模態(tài)等特性測量分析以及典型缺陷識別。

 

　　項目完成后，將打破國外公司的技術(shù)壟斷，實現(xiàn)高性能關(guān)鍵部件國產(chǎn)化及微結(jié)構(gòu)動態(tài)特性測試產(chǎn)品系列化，并在航空航天和民品MEMS研發(fā)生產(chǎn)領(lǐng)域開展應(yīng)用開發(fā)與示范，實現(xiàn)儀器工程化和產(chǎn)業(yè)化推廣。
 

　　根據(jù)統(tǒng)計，目前已有141個重大科學(xué)儀器專項落在企業(yè)，就是要在中國形成一批有世界競爭力的儀器企業(yè)，為國內(nèi)產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供支撐力。
 

　　(資料來源：北方網(wǎng)、科技部、上海市計量測試技術(shù)研究院)