【儀表網(wǎng) 行業(yè)政策】上海市《半導體行業(yè)污染物排放標準》規(guī)定了半導體行業(yè)企業(yè)水和大氣污染物排放控制要求、監(jiān)測以及標準的實施與監(jiān)督等內(nèi)容，設(shè)置了21項水污染物控制項目、13個有組織大氣污染物控制項目。
 

　　一、標準制定背景
 

　　上海市《半導體行業(yè)污染物排放標準》自2007年發(fā)布實施后，對規(guī)范本市半導體行業(yè)廢水和廢氣處理處置起到了重要的作用。在標準實施至今的這十幾年里，從國家到上海，環(huán)境管理要求和手段都發(fā)生了較大的變化，環(huán)境監(jiān)管能力提升迅速。體現(xiàn)在污染物排放標準的控制上也有了新的要求，如揮發(fā)性有機物已經(jīng)成為國家和上海重要的大氣污染物監(jiān)管重點，不僅對有組織排放加強了管理要求，還提出了對無組織排放的管理要求。同時，半導體生產(chǎn)工藝一直在向前發(fā)展，其工藝和原材料使用等方面都出現(xiàn)了新的變化，有必要通過標準的修訂，對控制因子進行新一輪的篩定。
 

　　基于上述考慮，為加強本市半導體行業(yè)水和大氣的污染防治，進一步改善本市水和大氣環(huán)境質(zhì)量，有必要對標準進行修定。
 

　　二、標準制定歷程
 

　　根據(jù)地方環(huán)保標準制修訂的有關(guān)程序，市生態(tài)環(huán)境局多次聽取有關(guān)部門、企業(yè)及專家的意見和建議，并于2021年3月和2022年9月兩次向全社會公開征求意見和書面征求意見，同步書面征求了國家行業(yè)主管部門、長三角地區(qū)、本市相關(guān)單位、科研院所、行業(yè)組織、排污單位等意見。2023年10月，市生態(tài)環(huán)境局和市市場監(jiān)管局組織召開了專家技術(shù)審查會，專家組一致同意該標準通過技術(shù)審查。
 

　　三、標準的適用范圍及主要內(nèi)容
 

　　本標準規(guī)定了半導體行業(yè)企業(yè)水和大氣污染物排放控制要求、監(jiān)測以及標準的實施與監(jiān)督等內(nèi)容，適用于本市范圍內(nèi)半導體行業(yè)企業(yè)及研制線水和大氣污染物的排放管理，以及新建、改建、擴建項目的環(huán)境影響評價、環(huán)境保護設(shè)施設(shè)計、竣工環(huán)境保護驗收、排污許可證核發(fā)及其投產(chǎn)后的水和大氣污染控制與排放管理和半導體行業(yè)企業(yè)的污染物排放許可管理。
 

　　根據(jù)我國的《國民經(jīng)濟行業(yè)分類》(GB/T 4754-2017)，本標準適用的行業(yè)為3972半導體分立器件制造和3973集成電路制造，并包括這兩類半導體產(chǎn)品的封裝測試行業(yè)。
 

　　四、標準的限值
 

　　水方面，本標準設(shè)置了21項水污染物控制項目。其中，一類污染物7項，同修訂前標準；二類污染物14項，增加了石油類、總氮、總磷、陰離子表面活性劑4項常規(guī)因子及總鋅特征因子，刪除了BOD5。
 

　　大氣方面，本標準設(shè)置13個有組織大氣污染物控制項目，新增氯氣、氰化氫、錫及其化合物、苯、苯系物、非甲烷總烴、顆粒物和氮氧化物等8項。設(shè)置了氰化氫、氯氣、氯化氫、非甲烷總烴等4項指標的無組織控制限值。
 

　　五、標準的實施時間
 

　　新(改、擴)建的半導體行業(yè)企業(yè)自本文件實施之日即2024年5月1日起執(zhí)行；對于半導體行業(yè)企業(yè)擬自2024年10月1日起執(zhí)行。
 

　　六、標準的實施與監(jiān)督
 

　　本標準由生態(tài)環(huán)境主管部門負責監(jiān)督實施。
 

　　七、標準文本的獲取方式
 

　　標準頒布后，將會在市生態(tài)環(huán)境局網(wǎng)站上全文公布，大家可自行前往下載。