【儀表網(wǎng) 行業(yè)標準】根據(jù)國家市場監(jiān)督管理總局下達的國家計量技術(shù)規(guī)范制修訂計劃，全國幾何量長度計量技術(shù)委員會已完成《球板校準規(guī)范》《回轉(zhuǎn)軸線測角轉(zhuǎn)臺校準規(guī)范》和《X射線熒光鍍層測厚儀校準規(guī)范》3項計量技術(shù)規(guī)范的征求意見稿。為了使國家計量技術(shù)規(guī)范能廣泛適用和更具可操作性，特向全國有關(guān)單位及專家公開征求意見和建議。意見反饋郵箱：mtc2@nim. ac. cn，截止時間2023年11月10日前。
 

　　《球板校準規(guī)范》
 

　　球板是一種多尺寸標準器，由多個標準球鑲嵌在平板上構(gòu)成。利用球形要素構(gòu)成的各種尺寸，可用于坐標測量機的期間核查和誤差參數(shù)分析。光學(xué)三維掃描儀在工業(yè)制造領(lǐng)域應(yīng)用日益廣泛，其示值誤差通常也采用球板進行評價。
 

　　中國計量科學(xué)研究院建立的一維二維多尺寸標準器校準裝置([ 2012 ]國量標證字第254號)，多年來開展步距規(guī)、球棒和球板的校準工作，為用戶開展溯源服務(wù)，其中步距規(guī)和球棒已發(fā)布了正式的校準規(guī)范，球板的校準依據(jù)仍是自編校準規(guī)范，有待立項完成。
 

　　目前國內(nèi)外還沒有球板相關(guān)的規(guī)程規(guī)范，通過本規(guī)范的制定，可以規(guī)范球板的計量特性，為用戶提供規(guī)范化的使用方法，促進先進制造業(yè)的發(fā)展。
 

　　JJF 1001《通用計量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1《測量不確定度評定與表示》、JJF 1071《國家計量校準規(guī)范編寫規(guī)則》共同構(gòu)成支撐本校準規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列文件。
 

　　依據(jù)JJF 1071《國家計量校準規(guī)范編寫規(guī)則》，本規(guī)范在組織架構(gòu)上包括：范圍；引用文件；術(shù)語；計量特性；校準條件；校準項目和校準方法；校準結(jié)果的表達；復(fù)校周期以及附錄等內(nèi)容。
 

　　本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于具有規(guī)則陣列和特殊排列結(jié)構(gòu)的球板標準器的首次校準、后續(xù)校準和使用中檢查。利用圓孔要素構(gòu)成的標準器可參考本規(guī)范進行校準。
 

　　《回轉(zhuǎn)軸線測角轉(zhuǎn)臺校準規(guī)范》
 

　　回轉(zhuǎn)軸線測角轉(zhuǎn)臺是一種集成角度反射鏡的精密伺服定位轉(zhuǎn)臺。包括可360°旋轉(zhuǎn)的角度反射鏡、轉(zhuǎn)軸、主體及底座?；剞D(zhuǎn)軸線測角轉(zhuǎn)臺工作時，測角轉(zhuǎn)臺底座與被測回轉(zhuǎn)軸線連接，轉(zhuǎn)軸帶動角度反射鏡旋轉(zhuǎn)某一固定角度，該角度作為與被測回轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)角度的比較基準參與完成被測回轉(zhuǎn)軸角位置誤差測量。角度反射鏡與激光干涉儀、角度干涉鏡配合使用，可以完成水平、豎直、傾斜、擺動等多種姿態(tài)回轉(zhuǎn)軸線的角位置誤差測量。
 

　　JJF 1001-2011《通用計量術(shù)語及定義》、JJF 1059.1-2012《測量不確定度評定與表示》、JJF1071-2010《國家計量校準規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1094-2002《測量儀器特性評定》共同構(gòu)成支撐本校準規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列文件。
 

　　依據(jù)JJF1071-2010《國家計量校準規(guī)范編寫規(guī)則》，本規(guī)范在組織架構(gòu)上包括：范圍；引用文件；術(shù)語和定義；概述；計量特性；通用技術(shù)要求；校準條件；校準項目和校準方法；校準結(jié)果表達；復(fù)校時間間隔以及附錄等內(nèi)容。
 

　　本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范規(guī)定了回轉(zhuǎn)軸線測角轉(zhuǎn)臺的計量特性、校準條件、校準項目和校準方法等。本規(guī)范主要適用于配合激光干涉儀組合使用的回轉(zhuǎn)軸線測角轉(zhuǎn)臺的校準。
 

　　《X射線熒光鍍層測厚儀校準規(guī)范》
 

　　隨著我國半導(dǎo)體、電子、通信行業(yè)的快速發(fā)展，許多產(chǎn)品都提出了對鍍層厚度進行精確控制的要求，大部分電子制造加工企業(yè)均配備了鍍層分析測量設(shè)備。這種廣泛使用的鍍層厚度測量儀器一種基于X射線熒光分析技術(shù)的比較式測量儀器，為使其測量方法和量值傳遞統(tǒng)一，在2011年首次制定和實施了此類臺式儀器的國家校準規(guī)范：JJF1306-2011X射線熒光鍍層測厚儀校準規(guī)范。
 

　　近十年來，半導(dǎo)體及微電子技術(shù)的快速發(fā)展，特別是我國高鐵、電力通訊的迅猛發(fā)展，為滿足現(xiàn)場測量需要，大力推動了手持式X射線熒光分析儀的產(chǎn)品研發(fā)和市場應(yīng)用，相比臺式儀器，測量原理相同，主要優(yōu)點包括體積小、攜帶方便、使用簡單、性價比高，導(dǎo)致每年的市場銷售數(shù)量遠遠超過了臺式儀器。
 

　　自JJF1306-2011校準規(guī)范發(fā)布實施以來，經(jīng)過國內(nèi)計量校準部門的實際應(yīng)用和反饋，總體上，具有較好的實用性和可操作性，其量值傳遞和溯源技術(shù)方法是科學(xué)可行的，基本滿足國內(nèi)此類儀器的量值溯源的需求，但也有需要完善和改進之處：原規(guī)范中規(guī)定的校準方法有一定局限性，鍍層標準塊的不確定度要求不太合理，同時鍍層厚度標準塊都只適合于臺式鍍層測量儀，不適用于當今應(yīng)用普遍的手持式測量儀器。
 

　　為使該規(guī)范更好的適應(yīng)新技術(shù)、新產(chǎn)品的快速發(fā)展，需要對規(guī)范中相關(guān)內(nèi)容進行增補和修訂，同時對原規(guī)范中不合理的部分內(nèi)容進行完善和修訂，滿足工業(yè)生產(chǎn)制造及計量檢測機構(gòu)對鍍層厚度測量儀器量值溯源和量值統(tǒng)一的需求。
 

　　本規(guī)范在原有JJF1306-2011中X射線熒光鍍層測厚儀校準規(guī)范的基礎(chǔ)上，主體框架內(nèi)容與格式不變，保留原來的計量特性要求，修改和增加內(nèi)容包括：
 

　　1. 行為格式規(guī)范化及描述完善性編輯修改；
 

　　2. 適用范圍增加了手持便攜式儀器；
 

　　3. 概述中增加了手持便攜式的外觀示意圖；
 

　　4. 校準方法的完善：
 

　　4.1測量重復(fù)性：考慮到測量范圍內(nèi)不同區(qū)段的有較大變化，測量點由原來的1個增加至3個；
 

　　4.2 示值穩(wěn)定性：保持不變；
 

　　4.3示值誤差：基于能量色散方法的X射線熒光鍍層測厚儀，同一種鍍層厚度測量范圍內(nèi)表現(xiàn)出非明顯線性誤差以及不同鍍層材料厚度測量誤差差異大，因此，示值誤差校準點由原來比較靈活的“1至5個”修改為“3個以上”，校準的鍍層材料由一種修改為至少3種。
 

　　因是自動測量，為提高可靠性，單點測量次數(shù)由原來的3次改為10次。
 

　　5. 規(guī)范了附錄C中厚度標準塊的技術(shù)特性描述及規(guī)定
 

　　因厚度標準塊(片)精度是以測量不確定度大小來區(qū)分，因此取消級別劃分，修改為等別劃分；
 

　　為更加合理表征厚度標準塊的不確定度，以0.1mm為分界點，按厚度范圍進一步區(qū)分測量不確定度大小。對應(yīng)于示值誤差校準結(jié)果不確定度分析時，當厚度不超過0.1mm，擴展不確定度采用絕對值來表征，當厚度大于0.1mm，采用相對擴展不確定度來表示；
 

　　6. 增加了附錄D，用于對手持編寫式儀器的標準塊技術(shù)特性描述和要求；
 

　　7. 增加了手持式儀器的重復(fù)性和示值誤差實驗驗證數(shù)據(jù)。
 

　　8.修改完善了附錄A不確定度分析。
 

　　本規(guī)范適用于臺式和手持便攜式X射線熒光鍍層測厚儀的校準。