【儀表網(wǎng) 儀表標(biāo)準(zhǔn)】近日，國家標(biāo)準(zhǔn)計(jì)劃《表面化學(xué)分析 x射線光電子能譜 選擇儀器性能參數(shù)的表述》編制完成并征求意見，時(shí)間截止到2023年3月8日。主要起草單位有廈門大學(xué)、廈門荷清教育咨詢有限公司等。
表面分析是新材料、新能源生科技術(shù)等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的重要技術(shù)。XPS(X 射線光電子能譜儀)是表面分析的最核心儀器。其重要特征是能獲得固體樣品表面區(qū)域(≈1 nm 至 10 nm)的定性量分析。
世界上有多家廠商生產(chǎn)x射線光電子能譜儀。盡管每臺(tái)儀器的XPS分析方法的基本原理是相同的，但儀器的具體設(shè)計(jì)和性能說明的方式各不相同。因此，通常很難比較不同廠商生產(chǎn)的儀器性能。
為使我國XPS和AES分析技術(shù)保持與國際接軌，國家標(biāo)準(zhǔn)與ISO同步，全國微束分析技術(shù)委員會(huì)表面分析分技術(shù)委員會(huì)于2018年提出將ISO 15470:2017轉(zhuǎn)化為國家標(biāo)準(zhǔn)，并列入原國家標(biāo)準(zhǔn)委2021制修訂國家標(biāo)準(zhǔn)計(jì)劃，項(xiàng)目編號為20214940-T-469。
目前，我國本領(lǐng)域僅有GB/T28892-2012/ISO15470:2004 IDT《表面化學(xué)分析X射線光電子能譜儀選擇儀器性能參數(shù)的表述》國家標(biāo)準(zhǔn)。本標(biāo)準(zhǔn)是等同采用國際標(biāo)準(zhǔn)ISO 15470:2017制定的相應(yīng)國家標(biāo)準(zhǔn)，屬于國際國內(nèi)先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)。
本標(biāo)準(zhǔn)與國際標(biāo)準(zhǔn)在技術(shù)內(nèi)容方面完全相同，僅作下述編輯性修改:a、改變國際標(biāo)準(zhǔn)的封面，以符合本國標(biāo)準(zhǔn)的封面規(guī)定;
b、改變標(biāo)準(zhǔn)的編號與現(xiàn)有國家標(biāo)準(zhǔn)編號一致;
c、重新編排全文的頁碼;
d、重新編排目次中的頁碼;
e、刪除國際標(biāo)準(zhǔn)中有關(guān)ISO的前言部分;f、增加有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)編制說明的前言部分;
g、用小數(shù)點(diǎn)符號“.”代替作為小數(shù)點(diǎn)的符號“,”。
本文件詳細(xì)表述了如何選擇x射線光電子能譜儀的性能參數(shù)。其中包括選用的分析方法、樣品制備、系統(tǒng)的構(gòu)造、x射線源、空間分辨率、譜儀強(qiáng)度性能和能量分辨率、譜儀的能量標(biāo)尺、響應(yīng)函數(shù)、荷電中和、真空環(huán)境等;也給出本文件涉及的規(guī)范性引用文件、術(shù)語及定義、符號及縮略語等。
本文件提供了一個(gè)基本項(xiàng)目單，以使所有x射線光電子能譜儀能以共同的方式來表述。廠商的說明書可能長達(dá)30頁或更多，本文件無意取代廠商的說明書，而是就廠商說明書中所確定的某些項(xiàng)目給出一致、明確的定義。
現(xiàn)有國家標(biāo)準(zhǔn)體系中GB/T28892-2012《表面化學(xué)分析X射線光電子能譜儀選擇儀器性能參數(shù)的表述》國家標(biāo)準(zhǔn)是ISO15470:2004等同轉(zhuǎn)化,本標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布后，需廢除該國家標(biāo)準(zhǔn)。
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