半導體電阻率測試儀/四探針電阻率測試儀/四探針電阻率儀/四探針電阻率測定儀/電阻率測試儀
型號:LDX-JH-WSP-6
LDX-JH-WSP-6型半導體電阻率測試儀是于各種半導體材料包括:片狀硅料、晶體、晶體等的電阻率測定的設備,測定范圍:0.01-199.99歐姆厘米,是生產(chǎn)廠家硅料分選測試的理想工具。
1、 主要技術(shù)指標:
電源:220V交流
可測晶片直徑(Z大)Ф100mm,方形230×220mm
恒流源:電流量程為0.01~1mA連續(xù)可調(diào),誤差≦±0.5%。
數(shù)字電壓表:量程:0.1~200mV,Z大分辨率:100μV
電阻率顯示:三位半數(shù)字顯示:小數(shù)點、極性、過載、自動顯示0.01-199.99歐姆。厘米
輸入抗阻:0.2mV和2mV量程:>108Ω
測量精度:±0.1。
Z大電阻測量誤差(按JJG508-87進行):0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±5%讀數(shù)±2個字。
重摻檢測誤差(JJG508-87進行):1Ω≤±1%、0.5Ω≤±0.5%、0.1Ω≤±0.1%
測量環(huán)境:溫度23±2℃,相對濕度≤65%
2、操作程序:
1、首先連好電源,打開后面板電源開關(guān),電源指示燈亮,表示待機完畢。
2、校準設備:厚度小于3.98mm取與要備測試硅材料厚度相同的硅材料標準樣塊校準電阻率測試儀,測試厚度大于3.98mm的硅材料可取厚度大于3.98mm的任一標準樣塊校準電阻率測試儀
3、測試:用四探針接觸硅材料,以探針壓下三分之二為準,待儀器顯示數(shù)字穩(wěn)定即可,
4校驗:在測試過程中要求2小時用標準樣塊校準一次設備,
3、 針組件;維護及注意事項:
1、一般情況下,除了信號傳輸線的斷裂引起的故障外, 針的維護主要包括針頭的更換和針頭的清理清潔工作
2、維護后的安裝及維護過程中,必須注意安裝過程中的排線位置,按綠紅黃黑(1234)位置排列。
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:周娜