基于 MEMS工藝技術(shù),做到了機械與電子部件的一體化,使器件具有微型,靈敏,穩(wěn)定可靠,高過載保護和空氣阻尼的特點。同時具有尺寸小,重量輕和使用方便等優(yōu)點。再根據(jù)一定的對應(yīng)關(guān)系,得到加速度的量值。它廣泛用于振動及地震測試、和空間系統(tǒng)及工業(yè)自動化控制等領(lǐng)域。
1、 特點:
(1) 體積??;
(2) 重量輕;
(3) 成本低;
(4) 可靠性高,頻率響應(yīng)高,固有頻率可達 15MHZ;
(5)數(shù)字化和智能化,可做成頻率輸出形式能對輸出信號進行全數(shù)字化處理,消除了因 V/D或 V/F 變化而引入的誤差。
2、量程范圍:0-25g, 0-50g, 0-100g.
3、輸出信號:大于 30 mv(工作電壓 5V)
4、自振頻率:≥1kHz
5、非線性:< 1%
6、輸出阻尼:0.4∼0.9
7、過載能力:≥1000g
8、產(chǎn)品重量:<1 克(不含電纜線)
9、外形尺寸:1cm×1cm×0.4cm