在空氣動(dòng)力學(xué)研究試驗(yàn)中,要求安裝尺寸小,不擾動(dòng)流場的壓力測試,直徑¢3~¢8mm、長度12~25mm 的微型壓力傳感器。采用 MEMS工藝技術(shù)制作的敏感元件和精細(xì)設(shè)計(jì)的微小外型,經(jīng)過無應(yīng)力封裝,以外形小巧、靈敏度高、輸出穩(wěn)定可靠等優(yōu)良的動(dòng)態(tài)和靜態(tài)特性,已廣泛用于空氣動(dòng) 力學(xué)、流體力學(xué)、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。產(chǎn)品特點(diǎn):
(1) 微型結(jié)構(gòu)體積小重量輕;
(2) 工作溫度范圍寬;
(3) 優(yōu)良的動(dòng)態(tài)和靜態(tài)特性;
2、 量程:0~35Kpa……4Mpa
3、 介質(zhì):<¢5mm為無腐蝕不導(dǎo)電的干燥氣體;≥¢5mm 為無腐蝕性的氣體或液體的測量
4、 供電方式:1~1.5mA恒流源供電
5、 滿量程:zui小值 25Mv,典型值 75Mv,zui大值120Mv;
6、 過載能力:200%
7、 精度%FS:0.1、0.25、0.5
8、 工作溫度范圍:-55℃~100℃
9、 補(bǔ)償溫度范圍:0℃~60℃
10、外形尺寸: ¢3 ¢5 ¢8
注:¢5 以內(nèi)為分體式結(jié)構(gòu)(溫度補(bǔ)償部分在接線后連接)。