Granville-Phillips系列354型(GP系列354微型真空計(jì))
Micro-lon真空計(jì)模塊真空測(cè)量解決方案
模塊化真空計(jì)是不需要前面板顯示和控制的應(yīng)用理想解決方案。小巧、方便、可靠、節(jié)約成本的模塊,直接在真空規(guī)管上安裝電子器件來(lái)實(shí)現(xiàn)。全金屬外殼提供一個(gè)堅(jiān)固的防護(hù)和高水平的抗電氣噪聲的能力。GP 354微型真空計(jì)測(cè)量范圍從5X10-2到10-9Torr(10-9mbar, 10-7Pa),提供模擬輸出或RS-485數(shù)字接口。模擬量輸出型具有數(shù)字顯示選項(xiàng),可提供方便的使用終端的壓力讀數(shù)。
Micro-lon( GP 354微型真空計(jì))測(cè)量技術(shù):
Granville-Phillips Micro-lon(GP 354微型真空計(jì))真空規(guī)是世界上zui小的電離真空規(guī),其壓力測(cè)量原理基于帶電電子與真空規(guī)管中的氣體分子碰撞所產(chǎn)生的離子電流的量。經(jīng)過(guò)多次改進(jìn),在小體積內(nèi)取得了高性能,改進(jìn)包括獲得的雙離子收集及設(shè)計(jì),可以優(yōu)化電子運(yùn)動(dòng)和離子收集。雙燈絲設(shè)計(jì)zui大限度地減少了計(jì)劃外停機(jī)。有第二根燈絲備用,規(guī)管可工作到定期維護(hù)時(shí)再更換。超清潔結(jié)構(gòu)(所用組件的真空燒制在潔凈度100級(jí)的潔凈室環(huán)境中組裝)確保在真空室抽氣的過(guò)程中快速可重復(fù)的響應(yīng)。
GP 354微型真空計(jì)特性與優(yōu)點(diǎn):
測(cè)量范圍寬:允許在從5X10-2至10-9Torr(7X10-2至10-9mbar;7至10-7Pa)的范圍內(nèi)連續(xù)監(jiān)控真空系統(tǒng)的性能。
雙燈絲:雙燈絲材質(zhì)是耐燒的氧化釔涂銥,壽命長(zhǎng)且有二根燈絲,可以使規(guī)管工作到定期維護(hù)時(shí)再更換,避免不必要的停機(jī)。
超清潔結(jié)構(gòu):真空計(jì)在設(shè)計(jì)、建造和處理上都盡可能減少放氣,所有組件均在潔凈度100級(jí)的潔凈室環(huán)境中組裝,可以確保在真空室抽氣中快速、可重復(fù)的響應(yīng)。
工作溫度更低:僅為玻璃規(guī)或裸規(guī)功耗的8%,產(chǎn)生熱量更少,降低對(duì)工藝實(shí)驗(yàn)的干擾。
模擬量輸出機(jī)型:基礎(chǔ)型可提供易于使用的模擬量輸出信號(hào),該信號(hào)與壓力對(duì)數(shù)呈線性關(guān)系。可選的綠色大型LED顯示器可提供使用終端的壓力指示。
數(shù)字接口型:提供有RS-485接口,便于與計(jì)算機(jī)控制的處理兼容。數(shù)字接口型具有一個(gè)設(shè)定點(diǎn)繼電器,通過(guò)該繼電器可以控制其他真空設(shè)備或提供安全互鎖。
全金屬外殼:提供高水平的抗射頻噪聲能力,符合CE認(rèn)證。
可更換規(guī)管:僅使用螺絲刀即可快速、方便地更換規(guī)管。
真空接頭選擇范圍廣:簡(jiǎn)化真空系統(tǒng)的安裝過(guò)程。
Granville-Phillips Micro-lon真空計(jì)模塊 更換規(guī)管
GP系列354微型真空計(jì)技術(shù)規(guī)格參數(shù):
空氣和N2的測(cè)量范圍(請(qǐng)參見(jiàn)一下注釋1、2、3和4) | |
Torr | 1x10-9至5x10-2 |
Mbar | 1x10-9至7x10-2 |
Pa | 1x10-7至7 |
發(fā)射電流 | 0.1,4mA |
除氣 | 電子轟擊,3w,帶2分鐘定時(shí)器 |
過(guò)壓保護(hù) | 在出廠設(shè)置壓力上*規(guī)管關(guān)閉 |
重量 | 370gm(12 oz),帶NW16KF法蘭 |
所需電源 | 24V直流+15%,12W(zui大值) |
工作溫度 | 00C至400C環(huán)境溫度,非冷凝 |
非工作溫度 | -400C至700C |
外殼材料 | 鋁擠型 |
符合CE標(biāo)準(zhǔn) | EMC Directive 89/336/EEC,EN 50081-2,EN 50082-2 |
模擬量輸出機(jī)型 | 1伏/數(shù)量級(jí),對(duì)數(shù),0至9V |
燈絲控制 | 模塊頂部切換開關(guān) |
輸入信號(hào) | 燈絲開/關(guān)、除氣開/關(guān)以及發(fā)射電流通過(guò)對(duì)地通斷性來(lái)設(shè)置 |
輸出信號(hào) | 燈絲和除氣開/關(guān)狀態(tài)由開路集電極晶體管來(lái)確定 |
接口 | 9針 D型插針式 |
顯示器(選配) | 2位加指數(shù),綠色LED |
數(shù)字接口型 | RS-485,配備一個(gè)設(shè)定點(diǎn)繼電器 |
參數(shù)可調(diào) | 燈絲開/關(guān)、除氣開/關(guān)、發(fā)射電流選擇、燈絲選擇、設(shè)定點(diǎn)(值、方向和滯后) |
波特率 | 19200波特率(默認(rèn)值) |
數(shù)據(jù)格式 | ASCII、8數(shù)據(jù)位、一個(gè)停止位、無(wú)奇偶校驗(yàn)、無(wú)反饋校驗(yàn)(默認(rèn)值) |
繼電器配置 | 單刀雙擲(SPDT) |
繼電器觸點(diǎn)額定值 | 1A,30V直流阻性負(fù)載時(shí);0.5A,125V交流非電感式時(shí) |
接口 | 9針 D型插針式 |
Micro-lon真空計(jì) | |
敏感度 | 20/Torr,15/mbar,0.15/Pa |
X射線極限 | <3x10-10Torr,<4x10-10mbar,<4x10-10Pa(請(qǐng)參見(jiàn)以下注釋3) |
燈絲材料 | 氧化釔涂層銥絲或鎢絲(請(qǐng)參見(jiàn)以下注釋4) |
暴露于氣體的其他材料 | 304不銹鋼,氧化鋁,鉭,鎢,CuAg共晶,Kovar合金 |
內(nèi)部規(guī)管容積 | 10.8cm3(0.66in.3)至接口端面 |
規(guī)管烘烤溫度 | zui高2000C(拆除電子設(shè)備) |
GP 354微型真空計(jì)注釋:
1.測(cè)量結(jié)果隨不同的氣體及混合物而有所變化。在使用說(shuō)明書中提供有常見(jiàn)氣體的校正參數(shù)。
2.GP 354微型真空計(jì)不可用于易燃易爆氣體。
3.X射線極限是真空計(jì)zui低顯示。接近X射線極限進(jìn)行可重復(fù)測(cè)量不可行。
4.鎢絲用于涉及含有氟、氯的氣體或含有污染氧化釔涂層銥絲的其他氣體。一般真空應(yīng)用不建議使用鎢絲,因?yàn)殒u絲暴露于高壓(包括但不限于H2O)時(shí)有可能燒斷。
尺寸圖(毫米,英寸)
模擬量輸出信號(hào)