Granville-Phillips系列358 (GP 358型真空規(guī)管和控制器)
Micro-lon真空規(guī)控制器
真空測(cè)量解決方案
(GP 358型真空規(guī)控制器)358型控制器專門設(shè)計(jì)用于獲得Granville-Phillips Micro-lon真空規(guī)管的zui高性能。該控制器能夠測(cè)量從下限10-10Torr(10-10mbar,10-8Pa)至5x10-2Torr(7x10-2mbar,7Pa)范圍內(nèi)的壓力。在選配Convectron真空規(guī)管的情況下壓力測(cè)量可以延伸到大氣壓。
GP 358型真空規(guī)控制器該控制器性能可靠,結(jié)構(gòu)緊湊,易于使用。鋁擠型、半機(jī)架設(shè)計(jì)便于裝配到您的控制機(jī)架上。不常使用的控件位于前面板門之后,提供一個(gè)整齊有序的外觀。大尺寸、明亮綠色、無閃爍LED數(shù)字顯示器使得測(cè)量結(jié)果清晰易讀,即使有一定距離也是如此。
您可以對(duì)您的特定系統(tǒng)要求來配置358系列控制器。可以使用多達(dá)6個(gè)設(shè)定點(diǎn)繼電器來控制各種系統(tǒng)功能,如切換閥、設(shè)置互鎖以及設(shè)置報(bào)警。通過使用RS-232或RS-485/422接口選項(xiàng)也可以集成到計(jì)算機(jī)控制的系統(tǒng)。
(GP 358型真空規(guī)控制器)Micro-lon測(cè)量技術(shù)
Granville-Phillips Micro-lon規(guī)管是世界上zui小的電離真空規(guī)管,其壓力測(cè)量基于帶電電子與真空規(guī)中氣體分子碰撞所產(chǎn)生的離子電流的量。通過多種改進(jìn),在小體積內(nèi)取得了高性能。這些改進(jìn)包括獲得的雙離子收集極設(shè)計(jì),可以優(yōu)化電子運(yùn)動(dòng)和電子收集。雙燈絲zui大限度地避免了計(jì)
GP 358型真空規(guī)控制器
劃外停機(jī)。由于有第二根燈絲做備用,所以規(guī)管可以用到正常維護(hù)周期更換。超清潔結(jié)構(gòu)(包括所有組件的真空燒制和在潔凈度100級(jí)的潔凈室環(huán)境中的組裝)確保在真空室抽氣的過程中快速、可重復(fù)的響應(yīng)。
GP 358型真空規(guī)控制器模擬輸出
(GP 358型真空規(guī)控制器)358系列真空規(guī)控制器特性與優(yōu)點(diǎn)
優(yōu)化Micro-lon規(guī)管性能:控制器專門設(shè)計(jì)用于獲得Micro-lon真空規(guī)的*性能。通過適當(dāng)?shù)陌l(fā)射電流設(shè)計(jì),Micro-lon規(guī)管的工作范圍可以涵蓋從5x10-2Torr至10-10Torr(7x10-2至10-10mbar,7至10-8Pa)。
方便、選擇豐富的半機(jī)架控制器:半機(jī)架設(shè)計(jì)節(jié)省了控制極架的空間。利用多種可選功能來配置控制器以滿足自己的需要,這些功能包括雙Convectron真空規(guī)管讀數(shù)、處理設(shè)定點(diǎn)繼電器和數(shù)字接口等。鋁擠壓外殼高度抗對(duì)電氣噪聲,并且*符合CE認(rèn)證。
3行數(shù)字顯示:通過明亮、便于閱讀、無閃爍、綠色LED顯示器,用戶一眼即可監(jiān)控所有三個(gè)壓力讀數(shù)。
雙Convectron選擇:在真空系統(tǒng)上的兩個(gè)位置提供準(zhǔn)確而可靠的真空壓力測(cè)量,范圍從大氣壓至10-4Torr(10-4mbar,10-2Pa)。Convectron真空計(jì)讀數(shù)可用于自動(dòng)打開Micro-lon真空計(jì)。
提高了經(jīng)濟(jì)效益:模塊化設(shè)計(jì)使客戶可以僅購(gòu)買所需的功能,而無需花錢購(gòu)買不想要或不需要的功能??涩F(xiàn)場(chǎng)更換選件板實(shí)現(xiàn)隨需要變化進(jìn)行輕松升級(jí)。
過程控制選件:提供多達(dá)六個(gè)過程控制設(shè)定點(diǎn)繼電器以控制其他真空設(shè)備,并提供安全互鎖。這些數(shù)字化控制的繼電器性能穩(wěn)定,調(diào)節(jié)方便。手動(dòng)操控功能有助于系統(tǒng)設(shè)置和維護(hù)。
計(jì)算機(jī)接口選擇:利用RS-232或RS-485/422接口可以輕松與計(jì)算機(jī)控制的系統(tǒng)進(jìn)行集成。
通用電源:可在90和240伏之間的任何交流電源電壓下工作。
(GP 358型真空規(guī)控制器)Micro-lon真空規(guī)特性與優(yōu)點(diǎn):
世界上zui小的電離規(guī):Micro-lon規(guī)管的體積只有不到常規(guī)玻璃規(guī)管或裸規(guī)體積的10%,可輕松安裝到復(fù)雜、排列緊湊的真空系統(tǒng)中。
高性能:獲得的雙離子收集極設(shè)計(jì)增加了電子路徑長(zhǎng)度并提高了離子收集效率,在小體積內(nèi)取得了高性能。
雙燈絲:雙、耐燒氧化釔涂層銥制燈絲提供長(zhǎng)規(guī)管壽命。有第二根燈絲做備用可以使規(guī)管工作到定期維護(hù)時(shí)再更換,可避免計(jì)劃外停機(jī)。
工作溫度更低:只有傳統(tǒng)玻璃管規(guī)或裸規(guī)功耗的僅8%,Micro-lon規(guī)管產(chǎn)生的熱輻射對(duì)工藝或?qū)嶒?yàn)干擾大幅降低。
端口屏蔽:在組件或真空室保養(yǎng)期間保護(hù)電極組件免受損壞,并為改善測(cè)量性能提供一個(gè)穩(wěn)定的電氣環(huán)境。
全金屬外殼:防止安裝過程中損壞柵極和燈絲,消極玻璃破碎的風(fēng)險(xiǎn)。
真空接口選擇范圍廣:簡(jiǎn)化真空系統(tǒng)的安裝過程。
GP 358型真空計(jì)剖視圖
GP 358型真空規(guī)控制器技術(shù)規(guī)格
空氣和N2的量程(請(qǐng)參見以下注釋1和2) | |
Torr | <1x10-9至5x10-2(至1000Torr,選配Convectron時(shí)) |
Mbar | <1x10-9至7x10-2(至1300mbar,選配Convectron時(shí)) |
Pa | <1x10-7至7(至130kPa,選配Convectron時(shí)) |
顯示 | 2位加指數(shù),綠色LED |
更新率 | 每0.5秒 |
發(fā)射電流 | 0.02、1或4mA,通過選擇開關(guān)選擇 |
燈絲選擇 | 燈絲1、燈絲2或者二者,通過選擇開關(guān)選擇 |
除氣 | 電子轟擊,4W,帶2分鐘定時(shí)器 |
過壓保護(hù) | 在出廠設(shè)置壓力上*電離規(guī)關(guān)閉 |
Micro-lon模擬輸出 | 1伏/量級(jí),對(duì)數(shù),0至10V |
遠(yuǎn)程輸入/輸出信號(hào) | |
輸入信號(hào) | 規(guī)管開/關(guān)和除氣開/關(guān),選定的瞬間連續(xù)地 |
輸出信號(hào) | 由一個(gè)單刀雙擲繼電器指示規(guī)管狀態(tài) |
額定值為1A,30VDC阻抗,交流無電感 | |
連接器 | 9針小型D型插針式 |
zui大Micro-lon電纜長(zhǎng)度 | 50ft(15m),標(biāo)準(zhǔn)電纜 |
所需電源 | 100至240V交流,50至60Hz,50W(zui大值) |
工作溫度 | 00C至400C環(huán)境溫度,非冷凝 |
非工作溫度 | -400C至700C |
重量 | 1.8kg(4Ibs) |
外殼材料 | 鋁擠型 |
符合CE標(biāo)準(zhǔn) | |
EMC指令 | 89/336/EEC;EN50081-2,EN50082-2 |
低電壓指令 | 73/23/EEC;EN61010-1 |
Convectron選項(xiàng) | 兩個(gè)規(guī)管工作 |
模擬量輸出 | 1伏/數(shù)量級(jí),對(duì)數(shù),0至7V,-7至1V可調(diào)整偏移 |
zui大電纜長(zhǎng)度 | 500ft(152.4m) |
過程控制選件 | zui多6個(gè)通道,每個(gè)真空規(guī)2個(gè) |
配置 | 單刀雙擲(SPDT)繼電器 |
觸點(diǎn)額定值 | 5A,30VDC;5A,120VAC;4A,240VAC,阻抗負(fù)載 |
數(shù)字接口選擇 | RS-232或RS-485/422 |
Micro-lon規(guī)管 | |
對(duì)N2或空氣靈敏度 | 20/torr,15/mbar,0.15/pa |
X射線極限 | <3x10-10Torr,<4x10-10mbar,<4x10-8pa(請(qǐng)參加注釋3) |
燈絲材料 | 氧化釔涂層銥絲或鎢絲(請(qǐng)參見以下注釋4) |
暴露于氣體的其他材料 | 304不銹鋼, Kover合金,氧化鋁,鉭,鎢,CuAg共晶 |
內(nèi)部容積 | 108cm3(0.66英寸3)至接口端 |
規(guī)管重量 | 113克(4盎司)帶DN16KF接頭 |
規(guī)管烘烤溫度 | 2000C,zui大值,非工作狀態(tài),電纜斷開 |
電纜烘烤溫度 | 1500C,zui大值 |
Convectron規(guī)管 | |
安裝位置 | *水平 |
傳感器材料 | 鍍金鎢絲 |
暴露于氣體的其他材料 | 304不銹鋼,硼硅玻璃,Kover合金,礬土,NiFe合金,聚酰亞胺 |
內(nèi)部容積 | 35cm3(214英寸3) |
規(guī)管重量 | 85克(3盎司)加真空連接配件 |
規(guī)管工作溫度 | 00C至500C環(huán)境溫度,非冷凝 |
規(guī)管烘烤溫度 | 1500C,zui大值,非工作狀態(tài),電纜斷開 |
電纜烘烤溫度 | 1050C,zui大值 |
GP 358型真空規(guī)控制器注釋:
測(cè)量結(jié)果隨不同的氣體及混合物而有所變化。在使用說明書中提供有常見氣體的校正曲線。Micro-lon規(guī)管和Convectron規(guī)管不可用于易燃易爆氣體。
要測(cè)量低于壓力1x10-7Torr(1x10-7mbar,1x10-5Pa),建議使用ConFlat型或VCR型真空連接。
X射線極限是真空計(jì)zui低顯示。接近X射線極限進(jìn)行可重復(fù)測(cè)量不可行。
鎢絲用于涉及含有氟、氯的氣體或含有污染氧化釔涂層銥絲的其他氣體。一般真空應(yīng)用不建議使用鎢絲,因?yàn)殒u絲暴露于高壓時(shí)有可能燒斷。
GP 358型真空規(guī)及控制器尺寸