氣體質量流量控制器（Mass Flow Controller)/氣體質量流量計（Mass Flow Metre)用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制，特別是對于微小質量流量的測量和控制。D600系列數(shù)字型氣體質量流量計/控制器精度高、重復性好、穩(wěn)定性高、工作壓力范圍寬，廣泛應用于能源、電力、化工、醫(yī)療、半導體等各個領域。
【產(chǎn)品特點】
◆ 本地高清晰中文液晶顯示；
◆ 適用極低的流量，精確測量各種量程的流量，zui低量程0~5 SCCM( 標準毫升/分鐘）；
◆ 數(shù)字、模擬量輸入輸出；
◆ 可連接上位機軟件控制運行；
◆ 極低的零漂和溫漂；
◆ 多氣體、多量程、高精度，響應時間短；
◆ 多種可量程可供選擇：
流量規(guī)格（N2）： (0~5、10、20、30、50、100、200、300、500 )SCCM；
（0~1、2、3、5、10、20、30 、50、100）SLM
【微小氣體質量流量計參數(shù)】
| 產(chǎn)品名稱 | 氣體質量流量控制器,氣體質量流量計,微小流量氣體流量計 |
| 適用介質 | 潔凈、干燥的氣體（不能含水汽、油） |
| 量程范圍（N2) | (0~5、10、20、30、50、100、200、300、500 )SCCM； （0~1、2、3、5、10、20、30 、50、100）SLM |
| 公稱壓力 | 0～10MPa |
| 環(huán)境溫度 | 5～65℃ |
| 測量精度 | ±1.0% |
| 響應時間 | < 1秒 |
| 殼體材質 | 不銹鋼； |
| 供電方式 | 外供7～16VDC（帶電源適配器）； |
| 輸出信號 | 4～20mA；0～5V；RS232/RS485 |
| 差壓范圍 | 0.05～0.3MPa； |
| 表頭顯示 | 累積流量；瞬時流量；工作模式；閥控狀態(tài) |
| 連接方式 | 卡套連接Φ3,Φ6,Φ8,Φ10 |
【氣體質量流量計產(chǎn)品原理】
氣體質量流量計由質量流量計傳感器、分流器通道、流量控制調節(jié)閥、放大控制電路組成。被測氣體分成兩個層流區(qū)，一個通過主流量管道，另一個通過毛細管。*的設計確保兩個管路里的流體都是層流狀態(tài)，因此兩個管路的流量比是恒定的。工作時，毛細管上兩個精確的溫度感應繞組被加熱，當有流量時，被加熱的氣體從上游到下游流動，在兩個感應繞組之間產(chǎn)生了溫差，溫差與電阻的變化成比例關系。
用惠斯頓電橋來測量溫度感應繞組的溫度變化差值?；菟诡D電橋的輸出通過ADC(模數(shù)轉換)轉換成12位的數(shù)字信號。
微處理器和非易失性存儲器存儲了所有的標定數(shù)據(jù)，直接控制操作比例電磁閥。這個數(shù)字閉環(huán)控制系統(tǒng)不斷的比較當前的流量值與設定值，如果與設定值偏離，通過調整閥門進行修正，PID算法運算實現(xiàn)高精確度的控制。根據(jù)被測氣體的流量大小輸出0…5VDC或者4…20mA信號。
【生產(chǎn)能力】年產(chǎn)一萬套
【公司】www.styb.cn
【廠家】，
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