介質(zhì)要求 : 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類(lèi) : 內(nèi)置 98 種氣體,請(qǐng)參考背面一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體,用戶可現(xiàn)場(chǎng)選擇
量 程 : 從 0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM()
測(cè)量范圍: 0.01 ~ 99% 滿量程
顯示流量 : 128% 滿量程
顯 示 屏: 帶按鍵,標(biāo)準(zhǔn)為 LCD 顯示屏,可選 TFT 彩色顯示屏
顯示方式 : 同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 : ± (0.8 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程) 精度升級(jí)部分見(jiàn)左下± (0.4 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程)(可選)累計(jì)流量精度 流量精度之外增加 ± 0.5 % 額外誤差
重 復(fù) 性: ± (0.2 % 讀數(shù) +0.02 % 滿量程)
工作壓力: 1 MPa 表壓(可選 2 MPaG 高壓系列)
操作壓力 : 如果不做真空特殊標(biāo)定,建議在絕壓 80 KPaA 以上使用;其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定
壓力精度: ±0.5 % 讀數(shù)(讀數(shù)> 1Atm),或 ±0.07 PSIA(< 1Atm)
進(jìn)出口壓差 : 0.5 MPa
數(shù)據(jù)刷新頻率: 數(shù)字信號(hào) 40 Hz @ 19200 波特率;模擬信號(hào):1000 Hz
屏幕刷新頻率 : 10 Hz
數(shù)字輸入 / 輸出信號(hào) RS232、RS485、Modbus RTU(RS232 / RS485)、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*
模擬輸入 / 輸出信號(hào): 0 - 5 VDC、1 - 5 VDC、0 - 10 VDC、4 - 20 mA
可選第二路模擬輸出 : 質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
模擬信號(hào)精度 在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 % 量程誤差
供電電壓:7 - 30 VDC (如選 4 - 20 mA 輸出,須為 15 - 30 VDC)
供電電流:40 mA,80 mA(4 - 20 mA 或 0 - 10 VDC)
輸出接口:DB9,可選 DB15、6 針工業(yè)接頭、8 針 Mini-DIN