專注微小流量測(cè)量微氣體質(zhì)量流量計(jì)
微氣體質(zhì)量流量計(jì)的概述：
采用關(guān)鍵矽微機(jī)械加工技術(shù)的MS流量傳感器具有測(cè)量微小、小流量的優(yōu)勢(shì)的MEMS（ Microelectromechanical systems）氣體質(zhì)量流量計(jì)和流量控制器，主要應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測(cè)和控制。
該產(chǎn)品能替代浮子流量計(jì)、孔板流量計(jì)等流量計(jì)。其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好，壓損小，無(wú)可動(dòng)部件，量程比寬，響應(yīng)時(shí)間較快，測(cè)量精度高，無(wú)需要溫度壓力補(bǔ)償。
微氣體質(zhì)量流量計(jì)的技術(shù)參數(shù)：
2.1 測(cè)量介質(zhì)：各種氣體（乙炔氣和混合氣體除外）
2.2 流量范圍：DN3 30-300ml/min
DN6 60-600ml/min
DN8 80-800ml/min
DN10 100-1000ml/min
注：
a)以上流量的測(cè)量介質(zhì)為空氣而言；
b)以上流量的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)20℃，101.325kPa。
c) 每個(gè)口徑量程范圍均可擴(kuò)大
d)特殊需要可單獨(dú)標(biāo)定
2.3 流量測(cè)量準(zhǔn)確度：±1.5%FS；±2.5%FS
2.4 工作溫度范圍：0-55℃；
2.5 工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa
2.6 供電電源：24VDC±10%；
2.7 輸出信號(hào)：4-20mA，RS485通訊；
2.8 環(huán)境溫度：0-55℃；
2.9 顯示位數(shù)：瞬時(shí)流量為三位，累積流量10位。
微氣體質(zhì)量流量計(jì)的型號(hào)命名
MF? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | |
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| 接頭類型 | 0：普通 |
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| 1：Swagelok接頭 | ||
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| 2：其他 | ||
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| 連接形式 | 0：快速接頭 | |
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| 1：法蘭式 | |||
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| 標(biāo)定方式 | 0：空氣 | ||
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| 1：氫氣 | |||
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| 2：氧氣 | |||
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| 3：氮?dú)?/p> | ||||
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| 品種 | 01：有顯示；有485通訊口；有4-20mA輸出 | |||
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| 02：有顯示；有485通訊口；無(wú)4-20mA輸出 | ||||
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| 03：有顯示；無(wú)485通訊口；有4-20mA輸出 | ||||
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| 04：有顯示；無(wú)485通訊口；無(wú)4-20mA輸出 | ||||
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| 05：無(wú)顯示；有485通訊口；無(wú)4-20mA輸出 | ||||
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| 06：無(wú)顯示；無(wú)485通訊口；有4-20mA輸出 | ||||
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| 材質(zhì) | 0：304不銹鋼 | ||||
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| 1：316不銹鋼 | |||||
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| 2：316L不銹鋼 | |||||
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| 3：鋁 | |||||
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| 4：其他 | |||||
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| 壓力 | 0：≤0.3Mpa | |||||
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| 1：≤0.6Mpa | ||||||
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| 2：≤1.0Mpa | ||||||
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| 被測(cè)介質(zhì) | ||||||||
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| 流量范圍 | ||||||||
| 產(chǎn)品通徑 | 03：DN3 | ||||||||
| 06：DN6 | |||||||||
| 08：DN8 | |||||||||
| 10：DN10 | |||||||||
產(chǎn)品類型 | M：質(zhì)量流量計(jì) | |||||||||
C：質(zhì)量流量控制器 | ||||||||||
專注微小流量測(cè)量微氣體質(zhì)量流量計(jì)的機(jī)械尺寸
L | D | H | G | |
DN3 | 74 | 30 | 127 | G1/8 |
DN6 | 74 | 30 | 127 | G1/4 |
DN8 | 90 | 30 | 127 | G3/8 |
DN10 | 130 | 35 | 127 | G1/2 |
