德國SENTECH公司PECVD 氣相沉積系統(tǒng)---上海/蘇州/無錫/南京/天津/北京/武漢/西安/杭州/濟南/廣州
SENTECH儀器（德國）有限公司研發(fā)、制造和銷售*的薄膜測量儀器（光譜橢偏儀、激光橢偏儀、反射膜厚儀）、光伏測量儀器（在線和離線測量工具）和等離子工藝設備（等離子刻蝕機、等離子沉積系統(tǒng)、原子層沉積系統(tǒng)、用戶定制多腔系統(tǒng)）。
儀器廣泛應用于微電子、光電、納米技術、LED、平板顯示、材料、有機電子、光伏、玻璃鍍膜、生物學、生命科學、等研發(fā)領域。
NOVTEC寓意“科技創(chuàng)新”，即諾威特測控科技有限公司，在德國、日本設有代表處，多年來致力于將的高科技產品帶給中國及亞洲的廣大用戶，并為客戶提供完善的售后服務，協(xié)助他們提高生產技術水平、競爭力及增加盈利，專業(yè)從事工業(yè)測量與測試產品的銷售與研發(fā)，擁有產品研發(fā)中心、研究院和生產工廠，技術力量雄厚。
產品簡介
SI500D突出優(yōu)點是采用平板三螺旋天線PTSA電感耦合等離子體ICP源和背部有氧氣冷卻系統(tǒng)的下電極，zui大樣片直徑8吋。ICPECVD感應耦合等離子增強化學氣相沉積系統(tǒng)SI500D滿足工藝要求，適用于器材的生產和研發(fā)應用。SI500D在基于硅烷的沉積工藝中具有出色的性能。
SI500PPD是標準的PECVD系統(tǒng)，配置帶干泵的預真空室，真空反應腔配置羅茨泵和渦輪分子泵。
Depolad200是經(jīng)濟型的PECVD系統(tǒng)，具有模塊化設計、工藝靈活和操作簡便的特點，樣片直接放置。刻逐步進行真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)的升級，以滿足更高的工藝要求。
型號
SI500D | ICPECVD沉積系統(tǒng) | 室溫~350℃ |
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SI500PPD | PECVD沉積系統(tǒng) | 帶預真空室 | 200℃~350℃ |
Depolab200 | PECVD沉積系統(tǒng) | 不帶預真空室 | 200℃~400℃ |
具體型號及技術要求咨詢。
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諾威特測控科技有限公司
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：夏雨
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