技術(shù)參數(shù)：
SFT9500產(chǎn)品規(guī)格

可測量元素
原子序數(shù)13（Al）～83（Bi）

X射線聚光
聚光方式

X射線源
管電壓：50kV
管電流：1mA

檢測器
Vortex®檢測器（無需液氮）

分析范圍
Φ0.1mm、Φ5mm

樣品觀察
彩色CCD攝像頭（附變焦功能）

濾波器
3種模式自動切換

樣品室
樣品平臺 240（W）×330（D）mm
移動量 X：220mm Y：150mm Z：150mm
載重量 10kg

重量
123kg（不含電腦）

X-ray Station
臺式電腦 19"LCD
（OS; MS-Windows XP®）

膜厚測量軟件
薄膜FP法（zui多五層，各層十種元素）
檢量線法（單層、雙層、合金膜厚成分）

定量分析功能
塊體FP法

統(tǒng)計處理功能
MS-EXCEL®

報告制作
MS-WORD®

安裝環(huán)境
溫度：10℃～35℃（±）5℃
濕度：35%～80%

使用電源
接地三頭插座 AC100、15A



主要特點：
★ X射線發(fā)生系統(tǒng)采用了聚光導(dǎo)管
由于采用了X射線聚光導(dǎo)管方式，可得到以往十倍以上的X射線強度，從而可以提高微小樣品的膜厚測量及有害物質(zhì)測量的精度。

★ 無需液氮的半導(dǎo)體檢測器
在進行薄膜測量與有害物質(zhì)的濃度測量時，高分辨率的檢測器是*的。SFT9500的檢測器不但可以達到高分辨率，而且可以實現(xiàn)高計數(shù)率。同時，由于使用了電子冷卻方式，所以無需液氮。

★ 能譜匹配軟件（選配件）
可瞬間識別未知樣品與事先存檔的X射線能譜庫中哪一個樣品較為接近的軟件。對識別材料十分有效。

★ 塊體檢量線軟件（適用于電鍍液分析） （選配件）
可簡單地測量出電鍍液中主要金屬的濃度。

★ 繪圖軟件（選配件）
將元素面分析的結(jié)果進行等高線和色彩使用等視覺處理的軟件。

★ 電鍍液容器（選配件）

★ 各種標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)（選配件）