X射線發(fā)生系統(tǒng)是X射線聚光系統(tǒng)(聚光導(dǎo)管)與X射線管相結(jié)合，從而在FT9500上產(chǎn)生光斑直徑為Φ0.1mm以下高強(qiáng)度的X射線束。
在FT9500X中，我們開發(fā)了新型X射線聚光導(dǎo)管(單毛細(xì)管)，實(shí)現(xiàn)了FT最小的實(shí)際照射約為Φ30μm的高強(qiáng)度X光束照射。
為此，可以對以往由于X射線照射強(qiáng)度不足而導(dǎo)致無法得到理想精度的導(dǎo)線架、接插件、柔性線路板等微小零件及極薄鍍層進(jìn)行測量。
在FT9500X中，我們開發(fā)了新型X射線聚光導(dǎo)管(單毛細(xì)管)，實(shí)現(xiàn)了FT最小的實(shí)際照射約為Φ30μm的高強(qiáng)度X光束照射。
為此，可以對以往由于X射線照射強(qiáng)度不足而導(dǎo)致無法得到理想精度的導(dǎo)線架、接插件、柔性線路板等微小零件及極薄鍍層進(jìn)行測量。
高性能X射線熒光鍍層厚度測量儀 FT9500系列/FT9500X系列 特長
- X射線發(fā)生系統(tǒng)采用了聚光導(dǎo)管
因?yàn)椴捎昧薠射線聚光導(dǎo)管方式，所以可以得到以往10倍以上的X射線強(qiáng)度，從而可以提高微小樣品的膜厚測量及有害物質(zhì)測量的精度。 - 不需液氮的半導(dǎo)體檢測器
在進(jìn)行薄膜測量時(shí)，高分辨率的檢測器是必*。FT9500的檢測器不但可以達(dá)到高分辨率而且可以實(shí)現(xiàn)高計(jì)數(shù)率。同時(shí)，由于使用了電子冷卻方式，所以無需液氮。 - Φ30μm高強(qiáng)度X光束照射
FT9500X作為聚光導(dǎo)管方式的鍍層測量儀，可進(jìn)行達(dá)Φ30μm高強(qiáng)度X光束照射。另外，與FT9500相比，僅相當(dāng)過去約10%的照射面積即可進(jìn)行同等精度的測量。 - 多鍍層的厚度測量
FT9500可以同時(shí)對納米等級的電子材料上多鍍層的各層厚度進(jìn)行測量，最多五層鍍層及組成。
高性能X射線熒光鍍層厚度測量儀 FT9500系列/FT9500X系列 規(guī)格
| ? | FT9500系列 | FT9500X系列 |
| 測 量 元 素 | 原子序數(shù)13 (Al)～83 (Bi) | |
| X 射 線 管 | 管電壓：50kV 管電流：1mA | |
| 檢 測 器 | 半導(dǎo)體檢測器(無液化氮) | |
| X 射 線 聚 光 | 聚光導(dǎo)管方式 | |
| X射線照射尺寸 | Φ0.1mm | Φ30μm |
| 樣 品 觀 察 | CCD攝像頭(帶變焦功能) | |
| 對 焦 | 激光對焦 | |
| 一次濾波器(電動切換) | 選購項(xiàng) | 有 |
| X-ray Station | 電腦 (OS: Windows) 19英寸液晶顯示屏 | |
| 打 印 機(jī) | 噴墨打印機(jī)(選購項(xiàng)) | |
| 鍍層厚度測量軟件 | 薄膜FP法(5層、各層10種元素) 標(biāo)準(zhǔn)曲線法(單層、雙層、合金鍍層成分) | |
| 定量分析軟件 | 塊體FP法、塊體標(biāo)準(zhǔn)曲線法 | 無 |
| 測 量 功 能 | 自動測量、中心搜索、圖像處理 | |
| 修 正 功 能 | 底材修正、已知樣品修正 | |
| 定 性 功 能 | KLM標(biāo)記功能、比較顯示 | |
| 統(tǒng)計(jì)處理功能 | 配備MS-EXCEL? | |
| 報(bào)告生成功能 | 配備MS-WORD? | |
| 安 全 功 能 | 樣品門聯(lián)鎖 防沖撞功能 | |
| 使 用 電 源 | 100V/15A 帶地線的3孔插座 | |
選購項(xiàng)
- 電鍍液分析（塊體標(biāo)準(zhǔn)曲線）
- 能譜匹配軟件（材料辨別）
- 掃描（強(qiáng)度面分析多點(diǎn)表示）軟件
