自1978年以來取得傲人銷量的X射線熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x的第八代產(chǎn)品FT110A,在測(cè)量精度、操作性能、軟件上有新的優(yōu)化。
通過自動(dòng)定位功能,只需把樣品放在樣品臺(tái)上,便能在數(shù)秒內(nèi)自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)觀察樣品焦點(diǎn),省略了以前手動(dòng)逐次對(duì)焦的操作,大幅提高了測(cè)量效果。
1.自動(dòng)對(duì)焦功能 自動(dòng)接近功能
在樣品臺(tái)上放置各種高度的樣品時(shí),只要高低差在80mm范圍內(nèi),即可在3秒內(nèi)自動(dòng)對(duì)焦被測(cè)樣品。由此進(jìn)一步提高定位操作的便捷性。
●自動(dòng)對(duì)焦功能 簡(jiǎn)便的攝像頭對(duì)焦
●自動(dòng)接近功能 位置的對(duì)焦
2.通過新薄膜FP法提高測(cè)量精度
實(shí)現(xiàn)微小光束的高靈敏度,通過微小準(zhǔn)直器提高了膜厚測(cè)量精度。鍍層測(cè)量時(shí)間比本公司原有機(jī)型縮短了1/2。另外,針對(duì)檢測(cè)器的特性開發(fā)了新的EP法,可進(jìn)行無標(biāo)樣測(cè)量。測(cè)量結(jié)果可一鍵生成報(bào)告書,簡(jiǎn)單方便。
●新薄膜EP法
減少檢量線制作的繁瑣程度、實(shí)現(xiàn)了設(shè)定測(cè)量條件的簡(jiǎn)易化
無標(biāo)樣測(cè)量方法可進(jìn)行最多5層的膜厚測(cè)量
●自動(dòng)對(duì)焦功能和距離修正功能
凹凸落差的樣品可通過薄膜EP法做成的相同測(cè)定條件進(jìn)行測(cè)量
●靈敏度提高
鍍層測(cè)量時(shí)間比本公司原有機(jī)型縮短了1/2
●生成報(bào)告功能
一鍵生成測(cè)量報(bào)告書
3.廣域樣品觀察
對(duì)測(cè)量平臺(tái)(250mm*200mm)上放置的樣品拍攝一張靜態(tài)畫面后,可在獲取的廣域觀察圖像上狹域的觀察位置。由此,可大幅減少多數(shù)測(cè)量點(diǎn)位置的選取時(shí)間,以及在圖像上難以尋找的特定點(diǎn)位置的選定時(shí)間。
●廣域圖像觀察
輕松定位
儀器基本規(guī)格:
測(cè)量元素 | T(i 22)~B(i 83) |
X射線管 | W靶材 |
管電壓:50 kV 管電流:1 mA | |
檢測(cè)器 | 比例計(jì)數(shù)管 |
準(zhǔn)直器 | φ0.1、φ0.2 ㎜ |
樣品觀察 | CCD攝像頭 |
X-Ray station | PC(OS Windows)+21.5英寸液晶顯示器 |
應(yīng)用程序 | 定性分析 |
薄膜檢量線(單層、2層、2成分合金單層膜) | |
薄膜FP法(最多可測(cè)量5層、10個(gè)元素) | |
統(tǒng)計(jì)處理 | |
測(cè)量功能 | 自動(dòng)測(cè)量、中心搜索 |
報(bào)告功能 | Microsoft Word / Excel |
電源 | AC100~120 V / AC200~240 V |
可測(cè)樣品
標(biāo)準(zhǔn)型 | 開槽型 | ||
儀器尺寸 | 600(W)×815(D) ×675(H)㎜ | 儀器尺寸 | 600(W)×815(D)×675(H)㎜ |
樣品尺寸 | 250(W)×200(D) ×150(H)㎜電動(dòng)樣品臺(tái) | 樣品尺寸 | 600(W)×600(D)×15(H)㎜及250(W)×200 (D)×150(H)㎜ |
樣品重量 | 10 Kg | 樣品重量 | 10 Kg |