AWM5101V氣體質(zhì)量流量傳感器為文丘里流量管形外殼,可以測(cè)量zui高至5 升/ 分鐘。微橋芯片直接與氣流接觸,大大減少了由于通氣孔或旁路堵塞引起的誤差。
AWM5101V氣體質(zhì)量流量傳感器采用堅(jiān)固,通用的封裝形式,該流量傳感器堅(jiān)固,塑料的封裝能承受50psi的共模壓力,內(nèi)部的小型傳感芯片能允許100 克的沖擊在額定指標(biāo)下,兩個(gè)測(cè)量孔是單獨(dú)模件,可在zui小的模具花費(fèi)下根據(jù)實(shí)際更改,插入式AMP 連接器提供十分可靠的連接。
AWM5101V,每個(gè)氣體質(zhì)量流量傳感器產(chǎn)品都包括含放大` 線性修正` 溫度補(bǔ)償和氣體標(biāo)定,氣體標(biāo)定通過(guò)激光校整得到。
Rb• 3.0K Rc• 1.0K Rf• 6.0K
| AWM5101 | AWM5102 | AWM5103 | AWM5104 |
流量范圍 | 0-5 SLPM | 0-10 SLPM | 0- 15 SLPM | 0-20 SLPM |
后綴-標(biāo)定氣體 | VA-氬氣(Ar)VC-二氧化碳(CO2)VN-氮?dú)猓∟2) | |||
| Min Typ Max | |||
*供電電源VDC | 8.0 10±0.01 15 | |||
功耗(mW) | 100 | |||
反應(yīng)時(shí)間(mA) | 60 | |||
零點(diǎn)輸出VDC | 0.95 1.00 1.05 | |||
零點(diǎn)漂移,VDC -20~70?C | ±0.050 ±0.200 | |||
zui大共模壓力psi | 50 | |||
溫度范圍 | -20~+70?C | |||
沖擊指標(biāo) | 100g峰值,6ms 半正弦(3drops,3 的每一方向) | |||
輸出@ 較整點(diǎn) | 5VDC@ 滿量程流量 | |||
壓差@ 滿量程 | 參照壓力& 氣流表 | |||
滿量程輸出漂移+20?~-25?C +20?~70?C | 后綴VA 或VN ±7.0% 讀數(shù),VC ±10.0% 讀數(shù) | |||
線性誤差 | ±3.0% 讀數(shù) | |||
遲滯& 重復(fù)性 | ±0.5% 讀數(shù) | |||
連接器(4pin receptacle) | AMP(103956-3)或MICROSWITCH(SS12143) | |||
泄漏max | 0.1psi/min,在靜態(tài)中 |
2、線性誤差適用于2- 滿量程,但不適用0 LPM 時(shí)零輸出
3、在50psi 內(nèi)壓下,AWM5000 系列每分鐘泄漏小于0.1psi,如果安裝時(shí),相對(duì)于流量管的連接器被扭轉(zhuǎn),將會(huì)破壞O 形圈和流量管之間的密封,引起暫時(shí)匯漏,可高達(dá)1psi,也可能在指標(biāo)內(nèi),換上新O 形圈后,密封恢復(fù),大約85% 的泄漏在24 小時(shí)內(nèi)消除,48 小時(shí)內(nèi),可