圖1、圖2、圖3 分別為AWM3100/AWM3300氣體質量流量傳感器內部的發(fā)熱器控制電路、雙傳感電路、差分放大電路圖。
圖1AWM3100/AWM3300氣體質量流量傳感器內部的發(fā)熱器控制電路 圖2 AWM3100/AWM3300氣體質量流量傳感器內部的雙傳感電路
3圖 AWM3100/AWM3300氣體質量流量傳感器內部的差分放大電路圖
AWM3000系列氣體質量流量傳感器技術規(guī)格：10.0±0.01VDC
| AWM3100V | AWM3150V | AWM3200V | AWM3300V | |||
| 流量范圍（span） | +200sccm | +30sccm | +1000sccm | |||
| 壓力范圍（psi） | ||||||
| （參照附錄） | ± | |||||
| 輸出電壓 | 5VDC@ | 3.4VDC@ | 5VDC@ | 5VDC | ||
| @ 標定點 | 200sccm | 25sccm | | 1000sccm | ||
| 零點電壓 | 1.00±0.05VDC | 1.00±0.1VDC | 1.00±0.08mV | 1.00±0.1VDC | ||
| 零點漂移 | ||||||
| +25~-25?C | ±25mV | ±100mV | ±25mV | ±25mV | ||
| +25~+85?C | ||||||
| 輸出電壓漂移 | ||||||
| Max | ||||||
| +25~-25?C | -4% 讀數(shù) | ±5.0% 讀數(shù) | +24.0% 讀數(shù) | -5% 讀數(shù) | ||
| +25~+85?C | +4% 讀數(shù) | ±5.0% 讀數(shù) | -24.0% 讀數(shù) | +5% 讀數(shù) | ||
| 重復性& 遲滯Max | ±0.5% 讀數(shù) | ± 1% 讀數(shù) | ±0.5% 讀數(shù) | ±1% 讀數(shù) | ||
| Min Typ. | Max. | |||||
| 電源（VDC） | 8.0 10±0.01 | 15 （2） | ||||
| 功耗（mW） | 50 | 60 | ||||
| 反應時間（ms） | 1.0 | 3.0 （1） | ||||
| 共模壓力（psi） &, lt;, /TD> | | 25 | ||||
| 工作溫度 | -25~85?C | |||||
| 儲存溫度（?C） | -40~90?C | |||||
| 沖擊（5drops,6axis） | | |||||
注：1、信號處理zui初預熱所須時間zui多1 分鐘
2、輸出電壓隨電源電壓而比率變化
3、差壓器件的溫漂主要是由氣體的濃度隨溫度而變化
氣流器件的溫漂主要是薄膜TCR 的系數(shù)的二次根及厚膜電阻的溫飄，加上運放的溫飄
4、為防止損壞，zui大允許流量變化值：5.0SLPM/1.0 秒
AWM3000系列氣體質量流量傳感器*型號:
| *型號 | 量程 |
| AWM3100V | +200SCCM |
| AWM3201CR | ± |
| AWM3200V | ± |
