一、用途 
（1）二、三維表面形貌測量 （2）膜厚和臺階測量 
（3）刻線和溝槽尺寸測量 （4）任意曲面形貌測量 
（5）球面和非球面輪廓非接觸測量 （6）MEMS器件三維尺寸測量 
（7）微光學元件測量 
二、儀器構成 
（1）寬帶光干涉顯微鏡 （2）垂直位移掃描工作臺 
（3）攝像及圖像處理系統(tǒng) （4）工控機 
三、測量原理 
（1）相移掃描干涉（PSI） （2）垂直掃描白光干涉干涉（VSI） 
四、性能指標（基本配置） 
（1）垂直測量范圍 0～50µm （2）垂直分辨率 1nm 
（3）測量區(qū)域 0.32mm×0.24mm （4）顯微鏡數值孔徑 0.4 
（5）顯微鏡放大倍數 25× （6）光學分辨率 0.5 
（7）表面反射率 1％～100％ （8）CCD有效像素 768×576 
（9）掃描速度 5µm/s 
注：用戶可根據需要選擇不同放大倍數的顯微鏡，10×、25×、40×、60×可選擇。 
五、軟件及功能 
1 虛擬儀器操作界面，包括： 
（1）取樣長度選擇； （2）評定長度選擇； 
（3）取樣長度內采樣點數選擇； （4）測量速度選擇； 
（5）傳感器量程的選擇； （6）傳感器定標。 
2 濾波選擇 
（1）zui小二乘中線（面）方法； （2）算術平均中線（面）方法； 
（3）多項式方法； （4）高斯方法。 
3 評定參數 
（1）國家標準6個評定參數； 
（2）ISO4287 43個評定參數； 
（3）上*的14個三維評定參數。 
4 圖形 
（1）二維圖形，包括原始輪廓曲線、不同濾波方法濾波后輪廓曲線、tp曲線等； 
（2）三維圖形，包括：軸測圖、倒置圖、等高圖、等截距截面圖、面支撐率圖、灰度圖等。 
5 形狀誤差、波度、表面粗糙度分離評定軟件。 

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