重現(xiàn)性 | <0.005mm |
外形尺寸 | (DxH) 700×500×900mm |
解析力標(biāo)準(zhǔn) | 0.001mm |
| 500×350mm |
| 4+L/150um |
機(jī)臺(tái)重量 | 150K |
| 4+L/150um |
放大倍數(shù) | 20x~120x |
X行程 | 300mm |
臺(tái)面荷重 | 30Kg |
Y行程 | 200mm |
CCD |
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