| 測(cè)量型金相顯微鏡 | ||||
| 產(chǎn)品用途 | ||||
| 測(cè)量型金相顯微鏡是一種兼顧影像、目視與納米高度測(cè)量多用的高精度、高效率測(cè)量?jī)x器。該產(chǎn)品具有電視成像與目視光學(xué)兩套瞄準(zhǔn)系統(tǒng)，可人工觀察金屬表面的金相組織結(jié)構(gòu)，是集光、機(jī)、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產(chǎn)品以二維測(cè)量為主，也可作三維輔助測(cè)量，廣泛應(yīng)用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面、鍍膜厚度、手機(jī)玻璃等工業(yè)領(lǐng)域。 | ||||
| 產(chǎn)品特點(diǎn) | ||||
| ● X、Y、Z軸0.5μm分辨率； ● 可選配白光納米檢測(cè)模組； ● Z軸粗調(diào)/微調(diào)旋鈕； ● 同軸表面光/底光測(cè)量； ● 內(nèi)建偏光量測(cè)光學(xué)模塊； ● 可量測(cè)透明材質(zhì)納米級(jí)高度差 | ||||
規(guī)格型號(hào) | MTM-1510M | MTM-2010M | ||
工作行程X、Y、Z軸 | 150*100*120（mm） | 200*100*120（mm） | ||
金屬臺(tái)尺寸 | 210*160（mm） | 260*160（mm） | ||
玻璃臺(tái)尺寸 | 354*228（mm） | 404*228（mm） | ||
光學(xué)尺分辨率 | 0.5μm | |||
示值誤差 | X、Y坐標(biāo)≤（3+L/75）μm （L為測(cè)量長(zhǎng)度，單位mm） | |||
影像系統(tǒng) | 彩色1/2"CCD攝像機(jī)；640*480像素；結(jié)合測(cè)量軟件 | |||
顯微鏡系統(tǒng) | 目鏡：10倍 | |||
濾光片：紅，藍(lán)，綠，白 | ||||
測(cè)量模式：反射，透射，偏光 | ||||
5孔物鏡轉(zhuǎn)換器 | ||||
物鏡放大倍率誤差 | 包括畸變?cè)趦?nèi)的放大率誤差≤0.008% | |||
總放大倍數(shù) | 50X——500X | |||
照明系統(tǒng) | 透射照明光源：白光LED，亮度可調(diào) | |||
同軸照明光源：鹵素?zé)簦炼瓤烧{(diào) | ||||
物鏡 | ||||
倍率 | 5X | 10X | 20X | 50X |
工作距離（mm） | 26.1 | 20.2 | 8.8 | 3.68 |
高度量測(cè)模塊（選配件） | 光干涉高度量測(cè)模塊（M10-CA），高度量測(cè)分辨力0.5μm（選配） | |||
倍率：10X，工作距離5mm，光學(xué)分辨力2μm | ||||
其它參數(shù) | ||||
外形尺寸（mm） | 590*560*850 | |||
儀器重量（kg） | 100 | 110 | ||
電源功耗 | 110V—220V 50/60Hz <60W | |||
單層透明膜厚度測(cè)量模式 | ||||
高精度測(cè)量模式 | 快速測(cè)量模式 | |||
厚度測(cè)量范圍 | 100nm-300nm | 300nm-500nm | 500nm-3μm | 3μm-20μm |
分辨力 | 5nm | 5nm | 7.5nm | 0.1μm |
