等離子發(fā)光分析終點檢測儀

布賴特光學(xué)系統(tǒng)是通過HORIBA Jobin Yvon制造的一個巨大的，直徑為70 mm的偏差糾正凹面光柵而實現(xiàn)的。

等離子發(fā)光分析終點檢測儀凹面光柵本身的聚光能力使其具有 比短焦距車爾尼特納型光譜儀更為明亮的一套簡易光學(xué)系統(tǒng)架構(gòu)，并且可以zui小化因為鏡面及其他反射面造成的反射損失。

等離子發(fā)光分析終點檢測儀背光式CCD可以達到高量子效率，確保從紫外光到可見光之間的寬波段范圍內(nèi)獲得穩(wěn)定的分光鏡使用。高靈敏度的測量在紫外光波段，特別是在那些較少受到干擾影響的波長范圍，使終點監(jiān)測成為可能。應(yīng)制程控制的要求，此軟件可以執(zhí)行多種工序，從等離子體現(xiàn)象分析到測量數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)庫創(chuàng)建和生產(chǎn)設(shè)備的遠程遙控。測量工序的可編程架構(gòu)設(shè)計使其可以對多重監(jiān)測和時序處理進行設(shè)定。它賦予檢測器不僅可以被用于終點監(jiān)測，同時也可以被廣泛的用于等離子體環(huán)境下的監(jiān)測。這是一種對于等離子體異常情況進行報警的*設(shè)計，也可以通過利用2種波長之間的變換系數(shù)來指導(dǎo)終點測量，全回收功能，一旦收集到光譜學(xué)的數(shù)據(jù)后，對制程優(yōu)化或者終點監(jiān)測的模擬可以通過應(yīng)用新的制程設(shè)計反復(fù)進行。一個用于識別等離子中發(fā)光類別的數(shù)據(jù)庫已經(jīng)包含在內(nèi)，光譜學(xué)數(shù)據(jù)可以轉(zhuǎn)換成一個時距記錄曲線圖，或者可以通過屏幕格式，把操作波形，比對參考數(shù)據(jù)獲得的相對計算波形和其他信息顯示出來。專為時間記錄圖分析而準備的自動圖形軟件