技術(shù)參數(shù):
型號 | Excel1651UM/UC | Excel1652UM/UC | Excel200U | Excel250U |
量測行程 | 1250x1650x160mm | 1250x1650x250mm | 1250x2000x200mm | 1600x2500x200mm |
外形尺寸 | 1886x2600x1650mm | 1886x2600x1850mm | 1886x3084x1737mm | 2252x3794x1737mm |
重量 | 3,600kg | 3,650kg | 3,740kg | 6,800kg |
承載重量 | 100kg | |||
平臺材質(zhì) | 鋼構(gòu) | |||
平臺設(shè)計(jì) | 龍門式 | |||
基座材質(zhì) | 花崗巖 | |||
XY 精度 | 4.0+L/300μm | 4.5+L/300μm | 5.5+L/300μm | 5.5+L/300μm |
Z 精度 | 2.8+L/150μm | 3.0+L/150μm | 3.0+L/150μm | 3.0+L/150μm |
加速度 | 1000mm/s2(XY), 500mm/s2(Z) | |||
速度 | 500mm/s(XY), 500mm/s(Z) | |||
光學(xué)尺分辨率 | 0.1μm | |||
影像 | 高分辨率彩色或黑白系統(tǒng) | |||
表面光, 輪廓光,同軸光光源 | 紅光LED (黑白系統(tǒng)) 白光LED(彩色系統(tǒng)) | |||
光學(xué)系統(tǒng)/放大倍率 | 12:1光學(xué) Zoom/15x-540x or 30x-1080x放大倍率 | |||
軟件 | InSpec Metrology Software | |||
電控系統(tǒng) | 伺服系統(tǒng): CNC, 鼠標(biāo), 搖桿 | |||
工作環(huán)境 | 20℃±2°,30-80% 濕度 | |||
電源系統(tǒng) | 93-264VAC, 47-63Hz, 10Amp |