技術(shù)參數(shù):
型號(hào) | Excel661UM | Excel661UC | Excel662UM | Excel662UC | Excel664UM | Excel664UC |
測(cè)量行程 | 650x650x160mm | 650x650x250mm | 650x650x400mm | |||
外形尺寸 | 1311x1604x1608mm | 1311x1604x1788mm | 1311x1604x2088mm | |||
重量 | 1530kg | 1550kg | 1550kg | |||
承載重量 | 100kg | 100kg | 100kg | |||
平臺(tái)材質(zhì) | 鋼構(gòu) | |||||
基座材質(zhì) | 花崗巖 | |||||
傳動(dòng)方式 | Unique X&Y Monorail, Monorail Linear Z | |||||
電控系統(tǒng) | 伺服系統(tǒng): CNC, 鼠標(biāo), 搖桿 | |||||
電源系統(tǒng) | 93-264 VAC, 47-63 Hz,10 Amp | |||||
XY 精度 | Uxy=2.5+L/300μm | Uxy=2.8+L/300μm | Uxy=3.2+L/300μm | |||
Z 精度 | Ux=2.5+L/150μm | Ux=3.0+L/150μm | Ux=3.5+L/150μm | |||
XY 重現(xiàn)性 | 2.5μm | 2.8μm | 3.2μm | |||
Z 重現(xiàn)性 | 2.5μm | 3.0μm | 3.5μm | |||
XY 加速度 | 1000mm/S2 | |||||
Z 加速度 | 500mm/S2 | |||||
XY 移動(dòng)速度 | 500mm/s | |||||
Z 移動(dòng)速度 | 150mm/s | |||||
光學(xué)尺分辨率 | 0.1μm | |||||
影像 | 黑白 | 彩色 | 黑白 | 彩色 | 黑白 | 彩色 |
光源 | 紅光LED | 白光LED | 紅光LED | 白光LED | 紅光LED | 白光LED |
照明系統(tǒng) | 表面光, 輪廓光,同軸光 | |||||
光學(xué)系統(tǒng)/放大倍率 | 12x 光學(xué)/3x 數(shù)字 Zoom / 15x~1200x 放大倍率 | |||||
軟件 | InSpec for Windows Metrology Software(2000/XP/Vista) | |||||
工作環(huán)境 | 20℃(68℉)±2°,30-80%濕度 |