技術(shù)參數(shù):
型號 | Vertex251HM/HC | Vertex251UM/UC | Vertex311HM/HC | Vertex311UM/UC |
XY 精度 | Uxy=2.0+L/200 | Uxy=1.8+L/200 | Uxy=2.6+L/200 | Uxy=2.0+L/200 |
Z 精度 | Uz=2.0+L/150 | Uz=2.0+L/150 | Uz=2.0+L/150 | Uz=2.0+L/150 |
XY 重現(xiàn)性 | 2.0μm | 1.8μm | 2.6μm | 2.0μm |
Z 重現(xiàn)性 | 2.0μm | 2.0μm | 2.0μm | 2.0μm |
XY 加速度 | 500mm/S2 | |||
Z 加速度 | 200mm/S2 | |||
XY 移動速度 | 250mm/s | |||
Z 移動速度 | 100mm/s | |||
光學(xué)尺分辨率 | 0.1μm | |||
量測行程 | 250x160x160mm | 315x315x160mm | ||
外形尺寸 | 606x800x775mm | 720x1085x1030mm | ||
重量 | 120kg | 150kg | ||
承載重量 | 10kg | 12kg | ||
基座材質(zhì) | 鋁合金 | |||
傳動方式 | Unique Monorail X & Y Design, Monorail Linear Z | |||
電控系統(tǒng) | 伺服系統(tǒng): CNC, 鼠標(biāo),搖桿 | |||
光學(xué)系統(tǒng)&放大倍率 | 6.5:1光學(xué)Zoom,20-390x | 12:1光學(xué)Zoom,15-540x | 6.5:1光學(xué)Zoom,20-390x | 12:1光學(xué)Zoom,15-540x |
影像&光源 | 紅光LED (黑白系統(tǒng))或白光 LED(彩色系統(tǒng)) | |||
軟件 | InSpec for Windows Metrology Software | |||
工作環(huán)境 | 20℃±2°,30-80% 濕度 | |||
備注 | Vertex311系列可選擇加高型,Z軸250mm |