在半導(dǎo)體和集成電路工藝中，材料、晶圓、芯片的測試是不可少的環(huán)節(jié)。數(shù)字源表SMU具備源測功能，可以產(chǎn)生電流-電壓(I-V)特性曲線，是半導(dǎo)體材料、器件電性能表征測量的核心。在測試時，通過數(shù)字源表提供激勵并對測量信號進行采集，首先將電流或電壓輸入被測器件（DUT），測量該器件對此輸入信號的響應(yīng)；這些信號的路徑為：源表的輸出端接入電纜，電纜和探針連接，電流或電壓信號通過探針至芯片。晶圓/芯片微弱電流測試VI源表就找普賽斯儀表
S型數(shù)字源表應(yīng)用優(yōu)勢：
1、多功能測量需求下的廣泛的適應(yīng)性，電壓高達300V，電流低至30pA；
2、實現(xiàn)“源”的輸出和“表”的測量同步進行，提高測試效率。
3、具備對測試器件的保護功能，可進行自我限制，避免因過充而造成的對測試器件的損害；
精確的電壓電流限制功能，為器件提供完善的保護功能，避免器件損壞。
4、觸屏圖形化操作，使用簡單。開放式平臺，可根據(jù)實際應(yīng)用的需求而針對性的開發(fā)軟件。
產(chǎn)品特點
5寸800*480觸摸顯示屏，全圖形化操作
內(nèi)置強大的功能軟件，加速用戶完成測試，如LIV、PIV
源及測量的準確度為0.03%
四象限工作（源和肼），源及測量范圍：高至300V，低至3pA
豐富的掃描模式，支持線性掃描、指數(shù)掃描及用戶自定義掃描
支持USB存儲，一鍵導(dǎo)出測試報告
支持多種通訊方式，RS-232、GPIB及以太網(wǎng)
技術(shù)參數(shù)
Z大輸出功率：30W，4象限源或肼模式；
源限度-電壓源：±10V（≤3A量程），±30V（≤1A量程），±300V（≤100mA量程）；
源限度-電流源：±3A（≤10V量程），±1A（≤30V量程），±100mA（≤300V量程）；
過量程： 105%量程，源和測量；
穩(wěn)定負載電容：<22nF；
寬帶噪聲(20MHz)：2mV RMS（典型值），<20mV Vp-p（典型值）；
線纜保護電壓：輸出阻抗30KΩ，輸出電壓偏移<80mV；
最大采樣速率：S系列1000 S/s，SXXB系列32000S/s;
觸發(fā)：支持IO觸發(fā)輸入及輸出，觸發(fā)極性可配置；
輸出接口：前后面板香蕉頭插座輸出，同一時刻只能用前或者后面板接口；
通信口：RS-232、GPIB、以太網(wǎng)；
電源：AC 100~240V 50/60Hz；
工作環(huán)境：25±10℃；
尺寸：106mm高 × 255mm寬 ×425mm長；
重量：5KG
質(zhì)保期：1年
S系列源表應(yīng)用
分立器件特性測試：電阻、二極管、發(fā)光二極管、齊納二極管、PIN二極管、BJT三極管、MOSFET、SiC、GaN等器件；
能量與效率特性測試：LED/AMOLED、太陽能、電池、DC/DC轉(zhuǎn)換器；
傳感器特性測試：電阻率、霍爾效應(yīng)等；
有機材料特性測試：電子墨水、印刷電子技術(shù)等；
納米材料特性測試：石墨烯、納米線等；
激光器特性測試：窄脈沖LIV測試系統(tǒng)；
功率器件：靜態(tài)測試系統(tǒng)；
電流傳感器：動靜態(tài)參數(shù)測試系統(tǒng)；
晶圓/芯片微弱電流測試VI源表認準普賽斯儀表咨詢，普賽斯歷時多年打造了高精度、大動態(tài)范圍、帥先國產(chǎn)化的源表系列產(chǎn)品，集電壓、電流的輸入輸出及測量等功能于一體。可作為獨立的恒壓源或恒流源、伏特計、安培計和歐姆表，還可用作精密電子負載。其高性能架構(gòu)還允許將其用作脈沖發(fā)生器，波形發(fā)生器和自動電流-電壓(I-V)特性分析系統(tǒng)，支持四象限工作。普賽斯“五合一”高精度數(shù)字源表（SMU）可為高?？蒲泄ぷ髡?、器件測試工程師及功率模塊設(shè)計工程師提供測量所需的工具。不論使用者對源表、電橋、曲線跟蹤儀、半導(dǎo)體參數(shù)分析儀或示波器是否熟悉，都能簡單而迅速地得到精確的結(jié)果。
