皮拉尼壓電真空計
PPG570新型INFICON皮拉尼壓電組合真空計（PPG570）基于*的MEMS（微機電系統(tǒng)）傳感器技術，該技術也 用 于 我 們 的 PPG550“ATM 到 中 等 真 空 計 中 。PPG570與PPG550的區(qū)別在于額外安裝的ATM傳感器，該傳感器允許在經(jīng)典的負載鎖應用中使用PPG570。
皮拉尼壓電真空計PPG570
新型INFICON皮拉尼壓電組合真空計（PPG570）基于 先進的MEMS（微機電系統(tǒng)）傳感器技術，該技術 也 用 于 我 們 的 PPG550“ATM 到 中 等 真 空 計 中 。 PPG570與PPG550的區(qū)別在于額外安裝的ATM傳感器， 該傳感器允許在經(jīng)典的負載鎖應用中使用PPG570。例 如，在半導線行業(yè)或任何其他真空應用中，相對于大 氣環(huán)境壓力的精確壓力測量都很重要。新型INFICON PPG570可用于直接插入式替換所謂的MKS儀器 MKS901P“Micro皮拉尼™和壓電負載鎖真空壓力傳感 器”。PPG570具有相同的連接口/接口分配、模擬量輸 出和RS232/485數(shù)字通信協(xié)議。
優(yōu)勢：
•在2毫巴以上氣體類型獨立——允許與任何氣體混合物安全通風
•在大氣中具有高精度和可重復性——用于可靠、快速的大氣壓力檢測
•大氣環(huán)境壓力測量 •最多3個固定繼電器 •安裝方向多樣——在工具設計中提供工程自由度
•可選擇模型輸出信號，便于系統(tǒng)集成
•數(shù)字接口RS232/RS485
•能夠直接插入替換MKS901P“Micro皮拉尼™和壓電負載鎖真空壓力傳感器”
•合規(guī)標準：CE、EN、UL、CSA、RoHS
應用范圍
•半導線負載鎖應用
•用于分析設備/質譜儀
•物理氣相沉積
•爐內(nèi)熱處理
