詳細(xì)技術(shù)參數(shù)
| TL1200-1200 雙溫區(qū)管式爐
| 型號(hào) | TL1200-Ⅲ-CVD | |||
| 功率 | 30KW | ||||
| 爐管尺寸 | 高純石英管:300*1900mm(管徑可選） 兩邊各放置一個(gè)爐塞，爐塞可以阻擋爐管中心的熱輻射，必須在加熱前放置在爐膛的正確位置
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| 外形尺（LXDXH） | 2900X950X1210 | ||||
| 電源電壓 | 三相380V | ||||
| 加熱元件 | 國產(chǎn)優(yōu)質(zhì)電阻絲（可選配進(jìn)口瑞典Canthal A1 電阻絲） 點(diǎn)擊進(jìn)入資料下載 | ||||
| 控制方式
| 采用宇電程序控溫儀表（標(biāo)配） 1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。 2、具有過溫保護(hù) 斷偶保護(hù)過溫或斷偶時(shí)電爐加熱電路自動(dòng)切斷,，（當(dāng)電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時(shí)， 主電路上的交流繼電器會(huì)自動(dòng)斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護(hù)電爐）。 3、帶有485 通訊接口（選購軟件時(shí)標(biāo)配） 4、具有斷電保護(hù)功能，即斷電后再給電啟動(dòng)爐子時(shí)、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時(shí)爐溫開始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能
（更換進(jìn)口儀表，需要另外付費(fèi)，選購）
FP93控溫儀表 歐陸儀表 觸摸屏儀表 （日本島電） | ||||
| 控溫模式 | 智能PID | ||||
| 斷偶保護(hù)和顯示 | 有 | ||||
| 過溫保護(hù) | 有 | ||||
| 過流保護(hù) | 有 | ||||
| 控制精度 | +/- 1 ℃ | ||||
| 觸發(fā)器 | 移相觸發(fā) | ||||
| 電器 | 浙江正泰 | ||||
| 可控硅 | 106/16E 德國西門康 | ||||
| 溫度 | 溫區(qū)一：1200 ℃ 溫區(qū)二：1200 ℃ 溫區(qū)三：1200℃ | ||||
| 額定溫度 | 溫區(qū)一：1100 ℃ 溫區(qū)二：1100 ℃ 溫區(qū)三：1100℃ | ||||
| 升溫速率 | ≤30 ℃/ Min （可根據(jù)要求修改） | ||||
| 推薦升溫速率 | ≤15℃/ Min | ||||
| 熱電偶型號(hào) | K 型 | ||||
| 加熱段長度 | 440+440+440mm | ||||
| 溫度校準(zhǔn)（選配） | 定期對管式爐進(jìn)行溫度校準(zhǔn)，可保持爐溫的準(zhǔn)確性和均勻性。您可以在本公司選購一套簡單的校準(zhǔn)工具，輔助您完成這項(xiàng)工作，完整的校準(zhǔn)套件包括標(biāo)準(zhǔn)熱電偶，溫度校準(zhǔn)儀，補(bǔ)償導(dǎo)線 | ||||
| 電器認(rèn)證 |
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| 四周表面溫度 | ≤45℃ | ||||
| 閥門和法蘭
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| 防爆系統(tǒng) | 防爆系統(tǒng)由壓力變送器、防爆電磁閥和宇電控制儀表組成 可在宇電控制表上設(shè)置報(bào)警壓力，當(dāng)爐管內(nèi)壓力大于等于設(shè)定的報(bào)警壓力時(shí)，防爆系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)啟動(dòng)，并放出爐管內(nèi)多余的氣體。 防爆電磁閥由兩個(gè)方向相反的單向閥組成，無論是真空還是氣氛下都可以關(guān)的很好，不漏氣，不回流。 壓力變送器是一種將壓力轉(zhuǎn)換成電信號(hào)進(jìn)行控制和遠(yuǎn)傳的設(shè)備。 壓力變送器將測壓元件傳感器感受到的氣體參數(shù)轉(zhuǎn)變成標(biāo)準(zhǔn)的電信號(hào)（如4~20mADC等），輸出給控制儀表，控制儀表將接收到的電信號(hào)進(jìn)行轉(zhuǎn)換輸出給電磁閥，電磁閥根據(jù)接收到的信號(hào)動(dòng)作 壓力變送器 防爆電磁閥 | ||||
| 倒料系統(tǒng) | 爐體可傾斜，傾斜之后物料即可從爐管中滑下，傾斜角度30℃ | ||||
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GX供氣系統(tǒng)主要參數(shù)
| 質(zhì)量流量計(jì)
| 量程和氣體 | 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型） | ||
| 耐壓 | 3MP | ||||
| 流量控制精度 | ±1.0%F.S | ||||
| 工作（使用）壓力 | 0.3MPa | ||||
| 線性 | ±0.5%F.S. | ||||
| 重復(fù)精度 | ±0.2% F.S | ||||
| 路數(shù) | 1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路） | ||||
| 接頭類型 | 雙卡套不銹鋼接頭 | ||||
| 系統(tǒng)工作壓力范圍 | 0.1~0.5 MPa | ||||
| 工作溫度 | 5-45℃ | ||||
| 壓力真空表表 | -0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 | ||||
| 靜態(tài)混氣室 | Dia50 X 400MM | ||||
| 接口 | Dia6 / 1/4” | ||||
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真空系統(tǒng)
| 電源 | 220V | |||
| 波紋管 | KF25X1000mm | ||||
| 用該系統(tǒng)抽爐管真空度可達(dá) | 10 -1Pa | ||||
| 真空擋板閥 | KF25 | ||||
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RV4真空泵
| 型號(hào) | RV-4 | |||
| 極限分壓強(qiáng) | 5X10-2 Pa | ||||
| 進(jìn)排氣接口 | KF25 | ||||
| 電機(jī)轉(zhuǎn)速 | 1440RPM | ||||
| 抽氣速率 | 4L/S | ||||
| 電機(jī)功率 | 0.4KW | ||||
| 電阻真空計(jì)
| 型號(hào) | ZDR-1 | |||
| 功率 | 25W | ||||
| 真空度測量范圍 | 0.1-10 5 Pa | ||||
| 電阻硅 | ZJ-52T | ||||
保修期
一年保修，終身技術(shù)支持
特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不在保修期內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
注意事項(xiàng)
1.爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
2.由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa
3.當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)
4.對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開排氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）
CVD系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)+管式爐+抽氣系統(tǒng) ，溫度可以達(dá)到1200度、1400度、1600度、1700度，加熱區(qū)間可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達(dá)到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì)，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。
這款CVD系統(tǒng)是由2路供氣系統(tǒng)+TL1200-Ⅲ三溫區(qū)管式爐+真空系統(tǒng)組成
1、電阻絲爐膛
(1)、使用真空吸附成型工藝，將加熱元件嵌入固定在耐火材料內(nèi)，是集發(fā)熱和隔熱的為一體的電熱模塊單元
(2)、使用溫度高達(dá)1250度，具有的加熱效果和熱穩(wěn)定性
(3)、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本成熟的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過熱工軟件模擬溫場
(4)、采用4周加熱，溫場更加均衡
(5)、電阻均衡、溫場均衡性好
電阻均勻 、 發(fā)熱量均衡
2、安裝有空氣開關(guān)和漏電保護(hù)器：
當(dāng)電路過流或漏電時(shí)，空開會(huì)自動(dòng)斷開。
3、可以與電腦連接
該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出，并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時(shí)可以調(diào)出
4、可選UL認(rèn)證電氣板 （全部通過UL認(rèn)證的進(jìn)口電器）
5、不銹鋼支撐架
6、認(rèn)證
7、法蘭
鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm（選購） 可以接電阻真空計(jì)和KF25波紋管的法蘭（選購） 水冷法蘭（選購）
