詳細(xì)技術(shù)參數(shù)
| VIF真空感應(yīng)熔煉爐
| 型號 | VIF-2-D | |||
| 優(yōu)點 | 這款設(shè)備可以做定向凝固爐使用，也可用于真空熔煉，做真空熔煉爐使用時，只需將冷卻池蓋上即可 | ||||
| 棒料粗度 | Φ10mm、Φ20mm | ||||
| 加熱溫度 | 2200度 | ||||
| 額定溫度 | 2100度 | ||||
| 發(fā)熱體（鎢、鉭）內(nèi)徑 | Dia40×90mm | ||||
| 高頻加熱電源
| 采用電源 | 高頻感應(yīng)電源 | |||
| 振蕩頻率 | 30-80KHZ | ||||
| 輸入功率 | 25KW | ||||
| 加熱電流 | 2-52A | ||||
| 冷卻水要求 | ≥0.2MPa ≥6L/分 | ||||
| 電源重量 | 35KG | ||||
| 負(fù)載持續(xù)率 | 99% | ||||
| 輸入電壓 | 三相380V 50或60HZ | ||||
| 加熱方式 | 感應(yīng)加熱 | ||||
| 腔體內(nèi)直徑 | 500mm | ||||
| 定向凝固坩堝 | 標(biāo)配石墨 | ||||
| 坩堝保護(hù)套 | 鋯石英或氧化鋁多晶體纖維或氮化硼保護(hù)套 | ||||
| 腔體內(nèi)示圖 | | ||||
| 腔體真空度（分子泵機組） | < 6X10 -4Pa | ||||
| 腔體充氣壓力 | < 0.05MPa | ||||
| 升壓率 | <4Pa/小時 | ||||
| 斷偶保護(hù)和顯示 | 有 | ||||
| 過溫保護(hù) | 有 | ||||
| 過流保護(hù) | 有 | ||||
| 欠壓保護(hù)（水壓） | 有 | ||||
| 控溫模式 | 智能PID | ||||
| 控制精度 | ±1~ 5 ℃（600度以上） | ||||
| 溫度檢測方式 | 進(jìn)口紅外測溫儀，溫度范圍1000~3200℃ | ||||
| 技術(shù)方案 |
感應(yīng)線圈上放保護(hù)套，保護(hù)套內(nèi)裹碳?xì)?，增加保溫性能，碳?xì)謨?nèi)側(cè)是一層光亮的鉭片，可將熱量反射回發(fā)熱體，鉭片內(nèi)側(cè)是鎢發(fā)熱體，發(fā)熱體內(nèi)放坩堝，坩堝安裝在定向凝固桿上，發(fā)熱體被感應(yīng)發(fā)熱，發(fā)熱體和冷卻池質(zhì)檢有個溫度梯度場，坩堝內(nèi)的物料加熱熔化后隨著定向凝固桿慢慢下降，熔化的物料在這個均勻下降的溫度梯度場中晶格按一定的順序重新排列凝固，形成有序的晶體。 | ||||
| 定向凝固機構(gòu) |
定向凝固行程和速度，可通過左側(cè)觸摸屏控制，速度范圍在0.1μm/s~2000μm/s | ||||
| 真空腔體內(nèi)是否可接水冷坩堝 | 可以 | ||||
| 觀察窗尺寸 | Dia 90mm | ||||
| 真空機組
| 機組輸入電壓 | 380V /220V | |||
| 波紋管 | KF40X1000 | ||||
| 真空擋板閥 | KF40 | ||||
| 前機真空泵BSV30
| 功率 | 0.75KW | |||
| 電壓 | 380V | ||||
| 轉(zhuǎn)速 | 1450rpm | ||||
| 進(jìn)氣口徑 | KF25/KF40 | ||||
| 前機泵抽氣速率（L/S） | 8 | ||||
| 極限壓強 | 5X10 -1Pa | ||||
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復(fù)合真空計 | 復(fù)合真空計型號 | ZDF | |||
| 電源 | 220V 55W | ||||
| 控制精度 | ± 1% | ||||
| 真空計測量范圍 | 10-5 -10 5 Pa | ||||
| 二級泵 為分子泵 （方案一） | 分子泵 （可以把腔體真空度抽到6X10E-4Pa）
| 分子泵型號 | FJ620 | ||
| 輸入電壓 | 220V | ||||
| 分子泵進(jìn)氣口法蘭 | DN160 | ||||
| 分子泵抽氣速率L/S（對空氣） | 600 | ||||
| 分子泵極限壓強（Pa) | 6×10-7 | ||||
| 冷卻方式 | 水冷 | ||||
| 冷卻水壓（MPa） | 0.1-0.2 | ||||
| 冷卻水溫度 | <25℃ | ||||
| 環(huán)境溫度 | 0~40℃ | ||||
| 建議啟動壓強 | <10Pa | ||||
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| 二級泵為擴散泵
（方案二） | 擴散泵 可以把腔體真空度抽到5X10E-3Pa） | 電壓 | 220V | |
| 功率 | 1000W | ||||
| 極限真空度（在無泄露時） | 10E-5Pa | ||||
| 進(jìn)氣接口 | DN150 | ||||
| 出氣接口 | DN40 | ||||
| 注入油量 | 0.3L | ||||
| 抽氣速率（N2） | 1000L/S | ||||
| 水冷機（選購） HZ-03A | 電源 | 3PH-380V/50HZ | |||
| 揚程 | 40M | ||||
| 流量 | 16L/min | ||||
| 水箱容量 | 60L | ||||
| 制冷量 | 103Kcal/h | ||||
| 出入水口 | Rp1/2’’ | ||||
| 機器尺寸 | 1150×520×1145(長X寬X高) | ||||
一、設(shè)備特點
1、采用臥式爐體，側(cè)部開門結(jié)構(gòu)，進(jìn)出料方便，爐體結(jié)構(gòu)緊湊，占地空間較小。
2、可以50段程序控溫，控溫精確，可以控制升溫速率和恒溫時間。
3、可以方便的更換不同的線圈以滿足不同大小的晶體生長。
4、安裝有觀察孔，可以清晰的爐內(nèi)坩堝物料的情況。
5、安裝有紅外測溫儀，可以精確的測量加熱套的溫度。
6、配有分子泵，真空度可達(dá)8X10-4Pa
7、安裝有水冷機，水冷機具有欠壓和斷水報警，使用安全可靠。
8、采用IGBT電源，具有過溫、斷水保護(hù)并具有報警、輸出電流顯示等功能。
12、廣泛應(yīng)用于大專院校及科研單位等在真空或保護(hù)氣氛條件下晶體的生長。
二、結(jié)構(gòu)說明
本產(chǎn)品由爐蓋、爐體、氣氛控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、IGBT 電源、控制系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、工作臺、電控系統(tǒng)等組成 ，爐體、氣氛控制系統(tǒng)、電控系統(tǒng)和水冷系統(tǒng)等組成部分都安裝在設(shè)備臺架上，使整個設(shè)備成為一體,爐架下安裝有水平調(diào)節(jié)輪、不但可以自由的拖動，并有調(diào)節(jié)水平的功能。
1、爐體：為全304不銹鋼結(jié)構(gòu)，氬弧焊焊接。爐殼采用雙層水冷結(jié)構(gòu)，保證爐殼溫度不超過40℃。爐蓋采用前開門結(jié)構(gòu)，爐蓋打開方式為手動，并加有鎖緊裝置，爐蓋上設(shè)有觀察孔，方便觀察爐內(nèi)情況。爐體上安裝有進(jìn)出氣口、與水冷機連接的進(jìn)出水口和安裝有連接爐體內(nèi)澆注裝置的進(jìn)出水管。
2、爐架：由型鋼鋼板組焊成柜架結(jié)構(gòu)，爐體安置在爐架上。
3、溫控系統(tǒng)(選購測溫元件時)：溫控系統(tǒng)是由測溫系統(tǒng)，溫控儀表組成，爐體上配有紅外測溫儀，把紅外測溫儀輸出的1-5V信號通過控溫儀表轉(zhuǎn)換為溫度信號，控溫儀表可以控制感應(yīng)爐的輸出功率，這樣形成一個閉合回路，可以對爐子的升溫進(jìn)行編程控制，可以進(jìn)行50段程序控溫，控溫精度準(zhǔn)確，升溫速率可調(diào)，并可以進(jìn)行恒溫，以方便控制澆鑄時的溫度控制。
| 序號 | 產(chǎn)品名稱 | 生產(chǎn)廠家 | 數(shù)量 |
| 1 | 爐體系統(tǒng) | 南京博蘊通儀器科技有限公司 | 1 套 |
| 2 | 分子泵 | 中科科儀 | 1 臺 |
| 3 | 進(jìn)口紅外測溫儀 | 美國雷泰 | 1 支 |
| 4 | 復(fù)合真空計 | 成都睿寶 | 1 臺 |
| 5 | IGBT專用電源 | 深圳雙頻 | 1 套 |
| 6 | 匯流水管 | 南京博蘊通儀器科技有限公司 | 1 套 |
| 7 | 真空閥 | 川北科技 | 3 件 |
| 8 | 水冷線圈 | 南京博蘊通儀器科技有限公司 | 2套 |
| 9 | 真空管路 | 南京博蘊通儀器科技有限公司 | 1 套 |
| 10 | 說明書 | 南京博蘊通儀器科技有限公司 | 2 套 |
| 11 | 機械泵 | 寧波鮑斯 | 1臺 |
| 12 | 溫度顯示器 | 廈門宇電 | 1臺 |
| 13 | 觸摸配屏控制器 | 昆侖通態(tài) | 1套 |
| 14 | 水冷機（選購） | 南京博蘊通儀器科技有限公司 | 1臺 |
| 15 | 高低速定向凝固升降機構(gòu) | 南京博蘊通儀器科技有限公司 | 1套 |
| 16 | 鋯石英保護(hù)套或氧化鋁多晶體纖維套或氮化硼保護(hù)套 | 南京博蘊通儀器科技有限公司 | 1套 |
| 17 | 不銹鋼雙層冷卻罐 | 南京博蘊通儀器科技有限公司 | 1套 |
| 18 | 二次加料器 | 南京博蘊通儀器科技有限公司 | 1套 |
