SIC高溫氧化爐-氧化擴(kuò)散爐-科研氧化爐
擴(kuò)散爐系列設(shè)備用途：用于大規(guī)模集成電路、太陽(yáng)能電池片、電力電子、光 電器件、光導(dǎo)纖維等行業(yè)的氧化、擴(kuò)散、燒結(jié)、合金等工藝。 設(shè)備特點(diǎn)：?jiǎn)卧M合方式。根據(jù)工藝的不同，可以在主機(jī)的基礎(chǔ)上配氣源柜、超凈工作臺(tái)、懸臂推拉舟等。
SIC高溫氧化爐-氧化擴(kuò)散爐-科研氧化爐
SIC高溫氧化爐-氧化擴(kuò)散爐-科研氧化爐
擴(kuò)散爐系列設(shè)備用途：用于大規(guī)模集成電路、太陽(yáng)能電池片、電力電子、光 電器件、光導(dǎo)纖維等行業(yè)的氧化、擴(kuò)散、燒結(jié)、合金等工藝。 設(shè)備特點(diǎn)：?jiǎn)卧M合方式。根據(jù)工藝的不同，可以在主機(jī)的基礎(chǔ)上配氣源柜、超凈工作臺(tái)、懸臂推拉舟等。
主要技術(shù)指標(biāo)：
★ 爐管數(shù)： 1～4管
★ 配工藝管口徑：Φ90～360 mm (3～12英寸)
★ 恒溫區(qū)長(zhǎng)度： 760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃) 760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃)
★ 單點(diǎn)穩(wěn)定性： ±1.0℃/24h (300～800℃) ±0.5℃/24h (800～1280℃)
★ 氣源路數(shù)： ≤7路，可配恒溫源瓶、氫氧合成點(diǎn)火器
★ 氣體控制： 浮子/質(zhì)量流量計(jì)
★ 懸臂舟參數(shù)： 速度： 20～1000 mm/min 最 da行程：2000 mm 定位精度：±1 mm 最 da載荷：17 Kg
★ 超凈工作臺(tái)： 凈化等級(jí)：100級(jí)（萬(wàn)級(jí)廠房）噪音： ≤62dB（A）振動(dòng)： ≤3μm
◆閉管式擴(kuò)散系統(tǒng)，有效降低生產(chǎn)成本，更潔凈、更環(huán)保
◆石英舟采用軟著陸送片，高可靠性
◆工業(yè)計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)，對(duì)爐溫、進(jìn)退舟、氣體流量、閘門等動(dòng)作進(jìn)行自動(dòng)控制
◆采用懸臂送片器，操作方便、無(wú)摩擦污染等
◆具有斷電報(bào)警、超溫報(bào)警、極限超溫報(bào)警等多種安全保護(hù)功能
◆控溫精度高，溫區(qū)控溫穩(wěn)定性好
◆關(guān)鍵部件均采用進(jìn)口，確保設(shè)備的高可靠性
◆高質(zhì)量的加熱爐體，確保恒溫區(qū)的高穩(wěn)定性及長(zhǎng)壽命
