碳化硅氧化爐 真空退火爐 高溫擴散爐 

碳化硅氧化爐 真空退火爐 高溫擴散爐 

   CL系列的擴散爐為我公司根據(jù)客戶需求定制的專用設(shè)備，用于太陽能電池片生產(chǎn)過程中對硅片進行擴散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝，該設(shè)備具有：關(guān)鍵部件進口、自動化程度高、溫度均勻、控制穩(wěn)定、壽命長等特點，是理想的科研及生產(chǎn)設(shè)備。

主要技術(shù)指標(biāo)：

★可處理硅片尺寸：2—8英寸
★外型形式：臥式1—4管結(jié)構(gòu)
★工作溫度：200℃—1300℃
★恒溫區(qū)長度及精度：200mm—1100mm≤±0.5℃
★單點溫度穩(wěn)定性、重復(fù)性：≤±0.5℃／24h
★溫度斜變：可控升溫速率20℃／min，
★可控降溫速率：5℃／min
★送片裝置：全自動懸臂推拉舟、拉桿是推拉舟、手動推拉
★氣路系統(tǒng)：1—5路工藝氣體／管
★氣體控制：全自動MFC、手動浮子流量計
★控制方式：工控機、觸摸屏

青島晨立電子有限公司成立于2009年，是專業(yè)半導(dǎo)體工藝設(shè)備及xian進材料專用設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售廠家，是山東省半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會重點骨干企業(yè)，“專精特新”企業(yè)。為客戶提供xian進材料熱處理、高精度電加熱設(shè)備及系統(tǒng)集成等全套解決方案。

主要產(chǎn)品：高低溫擴散爐、實驗爐、共晶爐、燒結(jié)爐、加磁爐、高精度智能溫度控制系統(tǒng)和替代進口的擴散爐爐體等，同時承接各種微電子生產(chǎn)線，進口半導(dǎo)體專用設(shè)備的翻新升級改造及各大專院?？蒲性核姆菢?biāo)研發(fā)定制工作。