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  • MiniLab-60S PVD 薄膜沉積系統(tǒng)

MiniLab-60S PVD 薄膜沉積系統(tǒng)

參考價
面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號
  • 品牌
  • 所在地杭州市
  • 更新時間2024-04-03
  • 廠商性質其他
  • 入駐年限1
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量312
  • 人氣值1117
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杭州大華儀器制造有限公司坐落于杭州市富陽區(qū)美麗的富春江畔、《富春山居圖》 的實景地、誕生地、經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)-----東洲工業(yè)功能區(qū)內(nèi),處在國家黃金旅游線”錢塘江- 富春江千島湖-黃山”的中心位置。公司始創(chuàng)于1993年,廠區(qū)建筑面積35000多平方米,是一家倡導服務,集科研、生產(chǎn)、銷售于-體的國家重點扶持企業(yè)。二十多年來-直致力于大學物理實驗教學儀器、科研儀器設備的研發(fā)生產(chǎn)和銷售,形成了以8大系列400余種專業(yè)物理實驗儀器設備為主,電工儀器為輔,配套設備為支撐的產(chǎn)業(yè)結構。2010年,公司研發(fā)中心被評為以“科教儀器為主要研究方向”的省級企業(yè)研發(fā)中心,2016年被杭州授予“杭州市院士工作站”。2017年,被省委認定為“省級院士工作站”。公司以“科技締造未來”為企業(yè)理念,重視科技創(chuàng)新和產(chǎn)學研合作、重視人才的引進與培養(yǎng),2000年以來與中科院固體物理研究所、清華大學、浙江大學、華中科技大學、四川大學、天津師范大學、西安交通大學、西北工業(yè)大學、武漢工程大學等20多家高等院校和科研院所建立了穩(wěn)定的產(chǎn)學研合作關系、大學生實踐基地,在功能材料科教儀器設備及測試技術、等離子體技術應用、大學物理設計創(chuàng)新、新能源產(chǎn)業(yè)等領域開展了廣泛的科技創(chuàng)新合作。公司累計獲得國家100余項,在全國高校物理實驗儀器評比中,共獲得四項-等獎,十二項二等獎,十五項三等獎的榮譽。并相繼獲得了“ 全國名優(yōu)產(chǎn)品售后服務*單位”、“ 中國質量信用AA單位”、“ 浙江省示范企業(yè)”、“ 浙江省民營經(jīng)濟示范企業(yè)”、、“杭州” 等榮譽稱號,連續(xù)多年列入“中國高教儀器設備發(fā)展情況年度報告”設備選購推薦企業(yè)之一, 國歡迎的實驗室儀器設備企業(yè)之一。以“用戶至上,服務滿意,質量為本,科學管理”為企業(yè)宗旨, 嚴格執(zhí)行"IS09001: 2015國際質量管理體系” 的標準,導入3Q6S精細化管理模式,注重- -切流程以用戶滿意為標準, 精益求精,持續(xù)提高產(chǎn)品的品質。我們的服務和產(chǎn)品現(xiàn)已遍布國內(nèi)外兩千余所大專院校、科研院所和工業(yè)企業(yè),并出口美國、法國、東南亞、中東、古巴等國家和地區(qū)。
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應用領域:系統(tǒng)可用于開發(fā)納米級的單層及多層功能膜和復合膜,可鍍金屬、合金、化合物、半導體、陶瓷膜、介質復合膜和其它化學反應膜等
MiniLab-60S PVD 薄膜沉積系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

應用領域:

系統(tǒng)可用于開發(fā)納米級的單層及多層功能膜和復合膜 , 可鍍金屬、合金、化合物、半導體、陶瓷膜、介質復合膜和其它化學反應膜等。

                    MiniLab 60PVD 薄膜沉積系統(tǒng).JPG

  四靶共聚焦濺射微信圖片_20220323161320.jpg

基本配置:

真空腔室: D 型圓筒形,尺寸約 ф450×H450mm,前開門結構;采用鉸鏈、鋁制前門,手動,上下 2 個杠桿把手,膠圈密封, 腔體內(nèi)表面采用電解拋光處理;外表面采用拉絲拋光,無擦傷及劃痕。 

抽氣系統(tǒng):采用復合分子泵 + 直聯(lián)旋片泵作為真空抽氣系統(tǒng); 主抽泵:分子泵抽速≥ 1200L/S,氮氣壓縮比≥ 109 ; 前級泵:VRD-30 機械泵及電磁閥,抽速:8L/S 主抽閥: CCD-200 超高真空電動插板閥 

* 真空系統(tǒng)可以升級為進口分子泵和渦旋干泵。 

真空測量: 數(shù)顯復合真空計:兩低一高全量程數(shù)顯復合真空計; 自動恒壓采用進口薄膜壓強真空規(guī)測量,范圍:13Pa-0.013Pa(可選擇配置) 

* 真空測量可以升級為進口全量程冷陰極真空計 

極限真空:<5×10-5Pa 

恢復真空:<6.7×10-4Pa(< 45 min) 

磁控濺射靶:(最多四支 2&3 英寸磁控濺射靶)磁控濺射靶磁路模塊化設計;磁控靶可手動調節(jié)濺射角度,靶與基片的距 離可調;其中一個靶位可濺射磁性材料(如鎳或鐵等)靶材大小為直徑 50.8mm,厚度≤ 5mm,靶材利用率超過 40% 

鍍膜方式:由下往上濺鍍或從上往下濺射,可依需求采用 Confocal(共焦)或 Face-to-Face(面對面); 

濺射電源(可選配置): 射頻電源: 功率 500W,輸出頻率:13.56MHz,全自動匹配 數(shù)量:1 直流濺射電源:輸出功率:500W;輸出電壓:0 -800V 可調 數(shù)量:2  

工藝氣路:三路質量流量計控制的氣路(Ar、O2、N2 )等 

樣品臺:可容納樣品尺寸:6 樣品托一個 , 配擋板, 轉速 0-30rpm 連續(xù)可調 ; 樣品可加熱控溫, 溫度范圍:室溫 -600,控溫精度 ±0.5; 

控制單元:15 英寸觸摸屏 +PLC 控制(可選手動按鈕)

選擇配置:

樣品臺可水冷,采用直接式水冷形式,水冷不控溫 可選進口濺射電源 

磁控靶可選用進口品牌 

全量程真空計 (Inficon) 

電容式隔膜真空計 ( 測量濺射工作壓力

樣品托 : 不銹鋼、鋁或銅,基片盤上有螺紋孔

系統(tǒng)要求標準配置:

工藝氣體 :25psi,純度 99.99% 以上 

工作氣體 : 干燥壓縮空氣、氮氣 

: 三相 380V, 50Hz, 32A 

:18-25 , 6L/min,壓力 <0.4MPa


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