超高分辨率的SID4 HR波前傳感器，400-1100nm
SID4 HR波前傳感器的規(guī)格參數(shù)：
| 型號(hào) | SID4 HR |
| 波長(zhǎng)范圍 | 400-1100 nm |
| 靶面尺寸 | 9.98 mm x 8.64 mm |
| 空間分辨率 | 24 um |
| 采樣分辨率 | 416 x 360 |
| 相位分辨率 | <2 nm RMS |
| 精度 | 20 nm RMS |
| 采樣速率 | 10 fps |
| 實(shí)時(shí)處理速度（使用配套的SID4軟件情況下） | 3 fps（全分辨率情況下） |
| 接口類(lèi)型 | Giga Ethernet（以太網(wǎng)） |
| 尺寸 | 80 x 77.5 x 86.4 mm3 |
| 重量 | ~600 g |
法國(guó)Phasics提供的SID4 HR超高分辨率波前傳感器是基于廠家的技術(shù)——四波橫向剪切設(shè)計(jì)而成的，為苛刻的波前分析應(yīng)用帶來(lái)了超高的相位采樣分辨率（416 x 360）和高動(dòng)態(tài)范圍（500 um PV），并且SID4 HR波前分析儀的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，抗力強(qiáng)，測(cè)量結(jié)果穩(wěn)定。SID4 HR波前傳感器的大相機(jī)靶面尺寸（9.98 mm x 8.64 mm）和的波前靈敏度可以直接測(cè)量大發(fā)散角的光束，并且不需要添加任何中繼光學(xué)或準(zhǔn)直系統(tǒng)。
SID4 HR超高分辨率波前傳感器的主要特點(diǎn)：
- 416 x 360超高相位采樣分辨率
- 9.98 mm x 8.64 mm的大面積靶面尺寸
- 可接收NA=0.8的高數(shù)值孔徑發(fā)散光束
SID4 HR波前分析儀的主要應(yīng)用：
- 激光，自適應(yīng)光學(xué)及等離子體檢測(cè)
- 光學(xué)元件及光學(xué)系統(tǒng)計(jì)量
- 微觀材料檢測(cè)
