Phasics公司基于其創(chuàng)新的高分辨率波前傳感技為客戶提供的測量和成像解決方案，以滿足激光工程師，鏡片生產(chǎn)商和細胞生物學家的需求。
基于四波橫向剪切的波前傳感器的工作波長范圍從紫外到遠紅外，典型的應用包括激光束測量和校正以及透鏡測試?；谒牟M向剪切的波前傳感器具有高的分辨率，也為波前分析的創(chuàng)新應用開辟了新的道路，如等離子體密度測量或定量相位成像顯微鏡，如生命科學、材料檢驗和熱成像。
法國Phasics公司擁有自主研發(fā)的波前傳感器，這種儀器是基于四波橫向剪切干涉技術而設計的。SID4系列波前探測器與傳統(tǒng)的夏克-哈特曼波前探測器比較，法國Phasics波前分析儀具有高動態(tài)檢測范圍、消色差、高分辨率、消色差、操作簡便，高靈敏度等優(yōu)勢?？梢韵虿ㄇ盎?、波前相差探測以及光束質(zhì)量及波前參數(shù)的測量、分析；眼科的虹膜定位以及波前像差引導等提供了完整的優(yōu)秀的解決方案！PHASICS波前探測器軟件界面具有易用性，能夠明了的輸出高分辨率的相位圖和光束強度的分布圖。
本文的產(chǎn)品主要有：適用于常用波段的SID4波前傳感器; 用于紅外波段的型號：SID4 DWIR, SID4 LWIR, SID4-SWIR, SID4-NIR; 高分辨率的SID4 UV-HR, SID4-HR； 后是深紫外波段的SID4-UV和SID4 UV-HR。所有的波段都能夠有適合的產(chǎn)品為您提供，并且有高采樣點的型號和普通標準的型號等等。
法國Phasics SID4 波前傳感器的特點：
SID4可用于400nm-1000nm 的激光的波前像差，強度分布，波前位相、澤尼克參數(shù), 激光的M2等進行實時的測量及參數(shù)輸出。
-可直接測量：消色差設計，測量前無需再次對波長校準，消色差：干涉和衍射對波長相消
-高分辨率：多采樣點可達120000個（160x120），測量穩(wěn)定性高
-內(nèi)部光柵橫向剪切干涉，防震設計，無需隔震平臺也可測試，對實驗條件要求簡單
-高動態(tài)范圍：高達500μm
-波長范圍：400-1100nm
SID4 UV-HR高分辨紫外波前傳感器的特點：
Phasics公司將 SID4的測量波長范圍:190nm-400nm。SID4 UV-HR是一款適用于紫外波段的高分辨率波前探測器,非常適用于光學元件測量（例如印刷、半導體等等）和表面檢測（半導體晶片檢測等）。
-高分辨率（250x250）
-通光孔徑大（8.0mmx8.0mm）
-覆蓋紫外光譜
-靈敏度高（0.5um）
-優(yōu)化信噪比
SID4-HR 波前相差儀特點：
能夠進行對透鏡、光學系統(tǒng)實時的PSF（點擴散函數(shù)）、OTF（光學傳遞函數(shù)）、MTF（調(diào)制傳遞函數(shù)）以及波前像差測量和參數(shù)輸出。與傳統(tǒng)的透鏡檢測設備比較：干涉儀，傳函儀、具有測量精度高，操作簡便，參數(shù)輸出方便等優(yōu)勢。
-曝光時間極短,保證動態(tài)物體測量
-波長范圍：400-1100nm
-實時測量，立即給出整個物體表面的信息（120000個測量點）
-高性能的相機，信噪比高，操作簡單
SID4 NIR 波前分析儀
其主要針對1550 nm（1.5um-1.6um）激光進行檢測的儀器，具有分辨率高，高動態(tài)范圍、高靈敏度、操作簡便等*的優(yōu)勢。是紅外透鏡像差，光學測量和紅外物體、MTF，PSF以及焦距和表面質(zhì)量測量的理想工具。
-高分辨率（160x120）
-快速測量
-測量
-對振動不敏感
-性價比高
SID4 UV 波前分析儀
其主要針對250-450nm激光進行檢測的儀器，具有分辨率高，高動態(tài)范圍、高靈敏度、操作簡便等*的優(yōu)勢。完美適用于UV光學測試，UV激光表征（用于光刻，半導體......）和表面檢測（透鏡和晶圓......）光學測量和MTF，PSF以及焦距測量。
-非常高的分辨率-250×250相位圖
-高靈敏度 - 2 nm RMS
-經(jīng)濟實惠的紫外波前測量解決方案
SID4 DWIR/ SID4 LWIR/ SID4-SWIR波前儀
擁有寬波段波前探測的特點。實時的檢測3-5um以及8-14um的強度分布和波前位相等的波前信息?？梢院芎玫膽糜诩t外波段應用的波前檢測需求。
-光學測量：SID4 DWIR是測量紅外物體特性（熱成像和安全視覺）或紅外透鏡（CO2激光器）的理想工具，輸出結果包括MTF，PSF，像差，表面質(zhì)量和透鏡焦距。
-光束測量：（CO2激光器，紅外OPO激光光源等等）此型號可以提供詳盡的光束特性參數(shù)：M2，像差，光束特性，光強分布等
-可實現(xiàn)離軸測量，可實現(xiàn)測量，性價比高
-高分辨率（96x72，快速測量 對振動不敏感
-可覆蓋中紅外和遠紅外波段 大數(shù)值孔徑測量，無需額外中轉(zhuǎn)透鏡
法國Phasics波前相差儀主要應用：
-光學系統(tǒng)質(zhì)量分析：MTF, PSF, EFL, 澤尼克系數(shù), 光學鏡頭/系統(tǒng)質(zhì)量控制
-激光光束參數(shù)測量：相位（2D/3D），M2，束腰位置，直徑，澤尼克/勒讓德系數(shù)
-生物應用：蛋白質(zhì)等組織定量相位成像
-自適應光學：焦斑優(yōu)化，光束整形
-熱成像分析，等離子體特征分析
-元器件表面質(zhì)量分析：表面質(zhì)量（RMS，PtV，WFE），曲率半徑
法國Phasics波前探測器參數(shù)規(guī)格對比
型號 | UV | SID4 V | SID4 | SID4-HR | NIR | SWIR | SWIR-HR | eSWIR | DWIR | LWIR |
光譜范圍 | 250-400nm | 400-1100nm | 400-1100nm | 400-1100nm | 1.5-1.6μm | 0.9-1.7μm | 0.9-1.7μm | 1.0-2.35μm | 3-5μm & 8-14μm | 8-14μm |
孔徑大小mm2 | 7.4x7.4 | 4.73x3.55 | 4.73x3.55 | 11.84x8.88 | 4.73x3.55 | 9.6x7.68 | 9.6x7.68 | 9.6x7.68 | 10.08x8.16 | 16x12 |
空間分辨率μm | 29.6 | 29.6 | 29.6 | 29.6 | 29.6 | 120 | 60 | 120 | 68 | 100 |
相位采樣(像素) | 250x250 | 160x120 | 160x120 | 400x300 | 160x120 | 80x64 | 160x128 | 80x64 | 160x120 | 160x120 |
相位精度（nm RMS） | 10 | 15 | 10 | 15 | 15 | 15 | 15 | <40 | 75 | 75 |
相位分辨率（nm RMS） | 2 | 2 | 2 | 2 | 11 | 2 | 2 | <6 | 25 | 25 |
夏克哈特曼和四波橫向剪切干涉波前分析儀對比表
| Phasics剪切干涉 | 夏克哈特曼 | 區(qū)別 |
技術 | 四波側向剪切干涉 | 夏克-哈特曼 | PHASICS SID4是對夏克-哈特曼技術的改進，投放市場時，已經(jīng)申請技術，售出超過500個探測器。 |
重建方式 | 傅里葉變換 | 分區(qū)方法（直接數(shù)值積分）或模式法（多項式擬合） | 夏克-哈特曼波前探測器，以微透鏡單元區(qū)域的平均值來近似。對于大孔徑的透鏡單元，可能會增加信號誤差，在某些情況，產(chǎn)生嚴重影響。在分區(qū)方法中，邊界條件很重要。 |
光強度 | 由于采用傅里葉變換方法，測量對強度變化不敏感 | 由于需要測量焦點位置，測量對強度變化靈敏 | 關于測量精度，波前測量不依賴于光強度水平 |
使用、對準方便 | 界面直觀，利用針孔進行對準 | 安裝困難，需要精密的調(diào)節(jié)臺 | SID4 產(chǎn)品使用方便 |
取樣（測量點） | SID4-HR達300*400測量點 | 128*128測量點（微透鏡陣列） | SID4-HR具有很高的分辨率。這使得測量結果更可靠，也更穩(wěn)定 |
數(shù)值孔徑 | SID4 HR NA：0.5 | 0.1 | SID4-HR動態(tài)范圍更高 |
空間分辨率 | 29.6μm | >100μm | SID4-HR空間分辨率更好 |
靈敏度 | 2nmRMS | 約λ/100 | SID4-HR具有更好的靈敏度 |
總體而言，在空間分辨率和靈敏度而言基于剪切干涉技術的波前分析儀都比夏克哈特曼為基礎的波前分析儀要更為優(yōu)秀。采樣點更多，準確度更高分辨率也更高。安裝便捷，配套的軟件功能豐富?；诟道锶~變換，將時域轉(zhuǎn)換為頻域分析使得其不依賴光強變化，更加的敏感，但可能不能估計光強的變化。一定條件下，它是選擇作為激光質(zhì)量分析，透鏡質(zhì)量監(jiān)控，光學表面測量，以及成像的更優(yōu)選擇。
