Eyoung Vacuum Regulator(EVR Series)
—— 負(fù)壓和正壓調(diào)節(jié)、口徑1/8"~4"、高速精密、手動(dòng)或電子控制
一、簡(jiǎn)介
EVR系列調(diào)節(jié)器是一種常閉調(diào)壓型真空壓力調(diào)節(jié)裝置,可直接對(duì)氣密性容器的真空壓力(負(fù)壓或正壓)進(jìn)行高速調(diào)節(jié),調(diào)節(jié)方式采用頂部氣控先導(dǎo)閥,先導(dǎo)閥可采用手動(dòng)和電子控制形式。
EVR系列產(chǎn)品是專門(mén)為大口徑和快速控制等工業(yè)應(yīng)用需求所設(shè)計(jì)的高速真空壓力調(diào)節(jié)器,如各種CVD、聚合物精密成型和精密真空蒸餾等工藝,是目前常用進(jìn)口高速電動(dòng)閥門(mén)(MKS、CDK和VAT等蝶閥)的國(guó)產(chǎn)化替代產(chǎn)品。
EVR系列產(chǎn)品可配各種手動(dòng)和電子控制形式的先導(dǎo)閥,可形成開(kāi)環(huán)和閉環(huán)控制回路。通過(guò)外接真空計(jì)并與依陽(yáng)公司VPC2021系列真空壓力控制器相結(jié)合,可構(gòu)成閉環(huán)形式快速高精度可編程真空控制回路。
二、技術(shù)指標(biāo)和尺寸
三、特點(diǎn)
(2)免拆裝式的閥芯更換方式,便于有污染真空工藝中EVR調(diào)節(jié)器的維護(hù)。
(3)整個(gè) EVR系列調(diào)節(jié)器都可以采用同款小尺寸先導(dǎo)閥進(jìn)行氣控驅(qū)動(dòng)。
(4)可應(yīng)用在高溫場(chǎng)合,先導(dǎo)閥可布置在較遠(yuǎn)位置,耐溫只取決于密封材料。
(5)可應(yīng)用在強(qiáng)腐蝕場(chǎng)合,甚至一些對(duì)FFKM有溶脹的場(chǎng)合(如二氧化碳和溴化鋰等)。
(6)通過(guò)連接真空源和壓力源以及快速切換,可進(jìn)行負(fù)壓或正壓的單獨(dú)控制以及正負(fù)壓過(guò)程的連續(xù)控制。
(7)可進(jìn)行防爆設(shè)計(jì)和操作,先導(dǎo)閥與EVR系列調(diào)節(jié)器可遠(yuǎn)距離分離,避免先導(dǎo)閥的電磁干擾。
四、應(yīng)用
(1)CVD工藝中MKS下游排氣高速節(jié)流閥的國(guó)產(chǎn)化替代方案及產(chǎn)品
(2)工業(yè)減壓蒸餾工藝中大流量耐腐蝕快響應(yīng)精密真空控制的解決方案
(3)低壓與高壓(負(fù)壓與正壓)之間的真空壓力連續(xù)控制解決方案
(4)呼吸閥檢驗(yàn)裝置中的正負(fù)壓連續(xù)精密控制解決方案
(5)快速響應(yīng)的大口徑背壓閥在聚合物擠出機(jī)定徑箱真空度精密控制中的應(yīng)用