電動可變泄漏閥（微小流量調(diào)節(jié)閥）——用于超高真空度控制

Electric Variable Leakage Valve (Micro-Flow Control Valve)

一、簡介

VLV2023系列可變泄漏閥是上海依陽公司新推出的一系列電控可變泄漏閥，可以連接到任何真空系統(tǒng)中，以建立可調(diào)節(jié)的泄漏和微小流量進氣，特別適合高真空和超高真空環(huán)境下的微流量進氣調(diào)節(jié)和超高真空度的準確控制。它提供了的控制靈敏度和穩(wěn)定性，泄漏率低至1×10^-10TorrL/s。泄漏率或流量調(diào)節(jié)由0~10V模擬信號控制，可代替安捷倫公司和VAT公司的手動/自動可變泄漏閥產(chǎn)品。

可變泄漏閥的功能是在超低漏率條件下進行微小流量的精密調(diào)節(jié)，可通過兩種技術(shù)手段實現(xiàn)此功能：一是改變超低漏率閥門的開度大小，以控制流經(jīng)氣體的流量；二是改變超低漏率閥門的進氣壓力大小，以改變流經(jīng)氣體的流速。目前國外可變泄漏閥采用的都是調(diào)節(jié)開度法，而VLV2023系列可變泄漏閥采用的則是調(diào)節(jié)壓力法。調(diào)節(jié)開度法屬于一種純機械傳動機構(gòu)，對可變泄漏閥門的加工制造、材質(zhì)和磨損性能有著非常苛刻的要求，且運行速度較低和價格昂貴。而調(diào)節(jié)壓力法則屬于一種微機電機構(gòu)，無摩擦部件，大幅降低了制造難度和成本。

二、技術(shù)指標

（1）最小泄漏率：1×10^-10TorrL/s。
（2）泄漏變化率：隨著進口氣體壓力的增加，提供增加的變化率，從而提供成比例的精確控制。
（3）真空范圍：從大氣壓到低于10-11Torr。
（4）溫度范圍：連接處位置高達450℃。
（5）入口氣體壓力：1000psi（7MPa）。
（6）控制信號：0~10DVC。

（7）電源：24DVC。
（8）材質(zhì)：304不銹鋼。
（9）重量：0.43kg。

三、尺寸和接線

四、典型應用

（1）超高真空度調(diào)節(jié)用安捷倫和VAT電動可變泄漏閥的國產(chǎn)化替代

（2）采用氦質(zhì)譜檢漏儀測量MEMS密封件漏率和內(nèi)部真空度的解決方案

（3）國產(chǎn)ChatGPT文心一言在超高真空度控制裝置研發(fā)中的應用探索

（4）皮拉尼計和電離規(guī)信號線性化處理技術(shù)在超高真空度精密控制中的應用

（5）真空度控制技術(shù)關(guān)鍵部件的國產(chǎn)化替代現(xiàn)狀

（6）低溫結(jié)霜可視化實驗裝置的真空壓力精密控制技改方案

（7）環(huán)境可控原子力顯微鏡實現(xiàn)超高真空到常壓的可變壓力控制解決方案

（8）超高真空變溫臺的真空壓力和氣氛精密控制解決方案