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| 產(chǎn)品名稱: | NEXIV VMR-H3030系列 |
| 產(chǎn)品類別: | 日本尼康精密光學(xué)測量 |
| 產(chǎn)品說明: |
CNC視頻圖象坐標(biāo)測量儀NEXIV VMR-H3030系列該設(shè)備具有的精度以及多種多樣的功能，XYZ行程為300×300×150毫米，不僅可以用于各種精密模具、精密零件的測量，還可以作為精密檢測室的主檢測設(shè)備使用。 8方向程控LED 環(huán)形照明系統(tǒng)、自動(dòng)影象對焦以及具有掃描功能的激光自動(dòng)對焦裝置均為標(biāo)準(zhǔn)配置。15倍變焦比的5段程控變焦鏡組，可以在各段（倍率）間進(jìn)行自由切換，以滿足低倍大視場觀察搜索和高倍精密測量兩方面的需求。以低熱膨脹材料制做的光柵本身就具有的精度，加上其合理的布局以及堅(jiān)固耐用的硬件設(shè)計(jì)，使 NEXIV VMR-H3030 的測量不確定度達(dá)到了亞微米級，可以滿足精密模具的檢測需求。 1、2、3 型超高精度，適于用作精密檢測室的主檢測設(shè)備； 3個(gè)型號（1、2、3 型）各自有 5 級放大倍率，可滿足不同視場及倍率要求； 有多種多樣的照明方式可供選擇，以確保模具邊界準(zhǔn)確探測的需求； 較長的工作距離（50毫米），可滿足測量對工件高度方向的空間需求； 高達(dá)15倍的變焦比，可以滿足低倍大視場觀察搜索和高倍精密測量兩方面的需求。與無級變焦機(jī)構(gòu)相比，采用5段、定倍自動(dòng)變焦機(jī)構(gòu)可以使測量更加快速、準(zhǔn)確。 應(yīng)用領(lǐng)域：
精密掩模板
精密機(jī)械零件
模具 Z120X 型（帶高倍頭）具有超高精度的載物臺，與高倍頭配合使用，能夠準(zhǔn)確測量工件的細(xì)微部位（如精密掩膜及芯片凸點(diǎn)高度等關(guān)鍵尺寸）光學(xué)放大倍數(shù)可達(dá)120X，能夠測量微距線寬； 高速、高精度的載物臺有助于對較大的物體尺寸，進(jìn)行快速、準(zhǔn)確地測量； 可以分別測量刻線的上下寬度； 激光自動(dòng)掃描功能，可以用來測量芯片上的微小凸點(diǎn)高度以及錫球截面形狀等； 可以對激光掃描所得的截面輪廓形狀進(jìn)行評估。 應(yīng)用領(lǐng)域：
精密掩模板
倒裝芯片上的凸點(diǎn)
芯片凸點(diǎn)形貌色標(biāo)顯示 |
