產(chǎn)品名稱: | NEXIV VMR-K3040ZC |
產(chǎn)品類別: | 日本尼康精密光學(xué)測(cè)量 |
產(chǎn)品說(shuō)明: | CNC視頻圖象坐標(biāo)測(cè)量?jī)xNEXIV VMR-K3040ZC這是一款共聚焦(Confocal)型的視頻圖象坐標(biāo)測(cè)量?jī)x,它能夠在同一視場(chǎng)內(nèi),同時(shí)完成二維平面和一維高度的高精度測(cè)量。高速、高精度地檢測(cè)的IC封裝的立體形狀。 1、2、3 型利用共聚焦光路,實(shí)現(xiàn)大視場(chǎng)、高速、高精度的微觀高度測(cè)量; 在同一視場(chǎng)內(nèi),能夠同時(shí)完成二維平面和一維高度的高精度測(cè)量; 同時(shí)擁有普通機(jī)型的15倍高速CNC變焦光學(xué)系統(tǒng),可以進(jìn)行明暗場(chǎng)圖象的二維幾何測(cè)量; 8方向程控LED 環(huán)形照明系統(tǒng)、自動(dòng)影象對(duì)焦以及具有掃描功能的激光自動(dòng)對(duì)焦裝置均為標(biāo)準(zhǔn)配置; 通過(guò)對(duì)硅片尺寸、芯片尺寸、芯片間隔的,可以按圖定位測(cè)量其中的任意一個(gè)芯片; 具有等高線顯示、鳥(niǎo)瞰顯示等選配功能。 應(yīng)用領(lǐng)域:
明場(chǎng)
共聚焦
合成效果 |