此款設(shè)備簡易分體式結(jié)構(gòu),能將升華體置于手套箱內(nèi)部,控制部分及真空部分置于手套箱外,成本低,操作簡易。能初步滿足材料進(jìn)出及升華過程中的氣氛保護(hù)要求。法蘭為球頭真空吸附方式密封,無需工具操作,大大降低了手套箱內(nèi)的操作難度,整個(gè)操作過程材料與大氣隔絕,避免了大氣中水、氧的影響以及灰塵的污染,是制備高純度半導(dǎo)體前驅(qū)體及相關(guān)材料的。
技術(shù)參數(shù):
設(shè)備長度500mm,亮面不銹鋼
外管尺寸50mm*700mm
單層金屬濾網(wǎng),簡易拆卸,易清潔保養(yǎng)
每段加熱區(qū)長度=100+200+100mm
軟件溫控保護(hù)溫=600°C
極限真空10^-4Pa
升華爐體內(nèi)置于手套箱內(nèi)