此款設(shè)備將實驗級別的升華機進出料端均對接手套箱，手套箱可內(nèi)襯四氟或噴涂特氟能起到防腐作用，半導(dǎo)體材料升華儀根據(jù)材料升華溫度、分子量的差異，對于材料進行提純，參數(shù)準(zhǔn)確，工藝可靠穩(wěn)定，實驗結(jié)果表明，單次升華可大幅度降低有機材料中的雜質(zhì)金屬離子濃度，將材料的純度提升一至三個數(shù)量級。整個操作過程材料與大氣隔絕，避免了大氣中水、氧的影響以及灰塵的污染，是制備高純度半導(dǎo)體前驅(qū)體及相關(guān)材料的。
參數(shù)：
| 型號 | BOF-5-100 |
| 額定功率 | 6KW |
| 工作溫度 | 600℃ |
| 推薦升溫速率 | >10℃/分鐘 |
| 爐管尺寸 | 外徑φ100x1200mm |
| 加熱區(qū)長度 | 100+200+200+200+100mm |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 加熱元件 | 進口KTL電阻絲 |
| 分子泵抽速 | 250L/s |
| 機械泵抽速 | 16L/s |
| 爐體尺寸(長*寬*高) | 1550*650*1260mm |
| 極限真空 | 5x10^-4Pa |
| 手套箱 | 左右各配置一臺單工位，1220*750*900mm |
