設(shè)備特點(diǎn):
1.一體化、模塊化結(jié)構(gòu),占地小,容量大,清洗產(chǎn)能高;
2.單向超聲輸出,空化效率高,清洗潔凈度高;
3.分離式自動(dòng)搬運(yùn)機(jī)械手,高效穩(wěn)定、便于維護(hù)保養(yǎng);
4.配套均勻的氣壓鼓泡系統(tǒng),有機(jī)結(jié)合超聲波,滿足市面任一種基板清洗特性;
5.可選配熱能回收系統(tǒng),大幅度降低能耗;
6.PLC+彩色人機(jī)界面控制,多層次密碼權(quán)限,工藝參數(shù)隨機(jī)可調(diào),工作狀態(tài)可視。
應(yīng)用范圍:
用于液晶板制程中切裂后的精密清洗干燥。