| | 設(shè)備簡介： 化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法，是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用非常廣泛的用來沉積薄膜材料的技術(shù)，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。為此我們研發(fā)成套的CVD鍍膜系統(tǒng)，適用于各大高校材料實驗室、科研院所、環(huán)?？茖W(xué)等領(lǐng)域； | ||
| | | | |
|
|
| | |
配置詳情
| |
NBD-101E嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面，7寸真彩觸屏輸入，智能式人機(jī)對話模式，非線性式樣溫度修正； | ||||||||
| 產(chǎn)品型號 | NBD-O1200-XIT（爐管直徑50、60、80、100mm可選） | ||||||||
| 工作溫度 | ≤1150℃ | ||||||||
| 加熱區(qū)尺寸 | 440mm | ||||||||
| 升溫速率 | ≤20℃/min | ||||||||
| 電氣規(guī)格 | AC 220V 4KW | ||||||||
| 氣體系統(tǒng)（可選購） | 流量計類型 | 浮子流量計 | 質(zhì)量流量計 | ||||||
| 管道示意圖 | | | |||||||
| 進(jìn)氣接口數(shù)量 | 2、3、4（多路可選） | ||||||||
| 流量范圍 | 20-250/20-800ml/min(多量程可選) | 50/100/200sccm(多量程可選) | |||||||
| 工作壓差范圍 | 0-0.15MPa | ||||||||
| 低真空系統(tǒng)（可選購） | 真空泵型號 | NBD-1.5C | NBD-3C | NBD-4C | |||||
| 抽氣速率 | 1L/s | 3L/s | 4L/s | ||||||
| 進(jìn)排氣口尺寸 | Φ8mm寶塔接頭 | Φ8mm寶塔接頭 | KF16/25 | ||||||
| 極限壓力 | 1000Pa | 100Pa | 10Pa | ||||||
| 工作溫度 | 5-40℃ | ||||||||
| 電氣規(guī)格 | AC220V | ||||||||
| 高真空系統(tǒng)（可選購） | 真空泵型號 | NBD-103(A) | NBD-103(B) | NBD-103(C) | |||||
| 抽氣速率 | 110L/s | 600L/s | 700L/s | ||||||
| 真空測量計 | 復(fù)合真空計 | ||||||||
| 極限壓力 | 10^-3Pa | 10^-4Pa | 10^-5Pa | ||||||
| 工作溫度 | 5-40℃ | ||||||||
| 電氣規(guī)格 | AC 220V | AC 220V | AC 380V | ||||||
| * 支持非標(biāo)定做，更多型號，歡迎來電垂詢 | |||||||||
免責(zé)聲明：本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容（包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等），僅供參考。可能由于更新不及時，或許導(dǎo)致所述內(nèi)容與實際情況存在一定的差異，請與本公司客服人員聯(lián)系確認(rèn)。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾，諾巴迪公司不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息，恕不另行通知。
