| | 設(shè)備簡介： 化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法，是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用非常廣泛的用來沉積薄膜材料的技術(shù)，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。為此我們研發(fā)成套的CVD鍍膜系統(tǒng)，適用于各大高校材料實驗室、科研院所、環(huán)?？茖W(xué)等領(lǐng)域。 | ||
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配置詳情
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NBD-101E嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面，7寸真彩觸屏輸入，智能式人機對話模式，非線性式樣溫度修正； | |||||||||
| 產(chǎn)品型號 | CVDT1500-50ITG3Z | CVD T1500-60ITG3Z | CVD T1500-80ITG3Z | |||||||
| 爐管尺寸 | Φ50*1000mm | Φ60*1000mm | Φ80*1000mm | |||||||
| 工作溫度 | ≤1450℃ | |||||||||
| 加熱區(qū)尺寸 | 310mm | |||||||||
| 升溫速率 | ≤20℃/min | |||||||||
| 電氣規(guī)格 | AC220V 3KW | |||||||||
| 氣體系統(tǒng)（可選購） | 流量計類型 | 浮子流量計 | 質(zhì)量流量計 | |||||||
| 管道示意圖 | | | ||||||||
| 進(jìn)氣接口數(shù)量 | 2、3、4（多路可選） | |||||||||
| 流量范圍 | 20-250/20-800ml/min(多量程可選) | 50/100/200sccm(多量程可選) | ||||||||
| 工作壓差范圍 | 0-0.15MPa | |||||||||
| 低真空系統(tǒng)（可選購） | 真空泵型號 | NBD-1.5C | NBD-3C | NBD-4C | ||||||
| 抽氣速率 | 1L/s | 3L/s | 4L/s | |||||||
| 進(jìn)排氣口尺寸 | Φ8mm寶塔接頭 | Φ8mm寶塔接頭 | KF16/25 | |||||||
| 極限壓力 | 1000Pa | 100Pa | 10Pa | |||||||
| 工作溫度 | 5-40℃ | |||||||||
| 電氣規(guī)格 | AC220V | |||||||||
| 高真空系統(tǒng)（可選購） | 真空泵型號 | NBD-103(A) | NBD-103(B) | NBD-103(C) | ||||||
| 抽氣速率 | 110L/s | 600L/s | 700L/s | |||||||
| 真空測量計 | 復(fù)合真空計 | |||||||||
| 極限壓力 | 10^-3Pa | 10^-4Pa | 10^-5Pa | |||||||
| 工作溫度 | 5-40℃ | |||||||||
| 電氣規(guī)格 | AC 220V | AC 220V | AC 380V | |||||||
| * 支持非標(biāo)定做，更多型號，歡迎來電垂詢 | ||||||||||
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