Pfeiffer 普發(fā) SPM 220 質(zhì)譜光譜儀分析設(shè)備
產(chǎn)品規(guī)格:
類(lèi)型:
質(zhì)譜
領(lǐng)域:
工藝流程
其他特性:
用于氣體分析
產(chǎn)品介紹:
飛濺過(guò)程顯示器從Pfeiffer真空的SPM 220是可能協(xié)助飛濺與對(duì)氣體的它的定量和定性分析的過(guò)程的一臺(tái)高效率的單光束貝克曼氣體分析儀。 氣體的優(yōu)秀檢測(cè)極限例如O2, H2和二氧化碳和一個(gè)質(zhì)譜儀系統(tǒng)和HiPace渦輪抽的駐地,它的組合成為了真空鍍膜系統(tǒng)和半導(dǎo)體生產(chǎn)的理想的選擇。
*的SPM離子源保證對(duì)氣體的精確和快的瞬間工藝過(guò)程分析的可能性由10-2hPa決定壓力。 由10 hPa決定上述的壓力的處理氣體分析使成為可能通過(guò)擁有有差別的抽的管口耳輪緣的模型。