高精度真空熱板WATTY常壓高精度熱板
高精度真空熱板WATTY常壓高精度熱板
高精度真空熱板,常壓高精度熱板,烘烤裝置,供氣裝置
產(chǎn)品介紹
高精度真空熱板
特點(diǎn)
面內(nèi)溫度分布高精度控制
關(guān)于形狀、尺寸等請(qǐng)聯(lián)系我們。
支持高達(dá) 400°C(鋁板)
使用示例
潔凈室一體化生產(chǎn)(100級(jí)、1000級(jí))
CVD、蝕刻、灰化設(shè)備的工藝氣體供應(yīng)管線,排氣管線的設(shè)計(jì)和制造
各種管道材料和零件焊接的豐富后臺(tái)數(shù)據(jù)
焊接管道和特殊氣體的焊接
我們還可以制造管道。
使用注意事項(xiàng)
1. 安裝加熱器時(shí),請(qǐng)擦去被加熱表面的油污、污垢等,安裝時(shí)應(yīng)確保粘合面不會(huì)形成氣穴。
2. 加熱器溫度根據(jù)使用條件(工作溫度等)而變化,因此,如果加熱器表面溫度可能超過200°C,請(qǐng)?jiān)谑褂们翱刂萍訜崞鞅砻鏈囟取?/span>
常壓高精度熱板
特點(diǎn)
與加熱器一體型相比,重量輕、功耗低
通過分體設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)FPD G8尺寸的高精度分布
支持高達(dá)400℃
使用示例
1.抗蝕劑、彩色濾光片等的烘烤(FEOL)
2.探針臺(tái)(BEOL)等檢查設(shè)備
3.用于掩模玻璃加熱
烘烤裝置
特點(diǎn)
我們將根據(jù)應(yīng)用提出單片式和多級(jí)式等建議。
從用于測(cè)試和研究的手動(dòng)式到用于批量生產(chǎn)的具有自動(dòng)傳送機(jī)構(gòu)的裝置的
設(shè)計(jì)和制造
供氣裝置
特點(diǎn)
潔凈室一體化生產(chǎn)(100級(jí)、1000級(jí))CVD、蝕刻和灰化設(shè)備的工藝氣體供應(yīng)管線和排氣管線的設(shè)計(jì)和制造
豐富的后臺(tái)數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)各種管道材料及零件的焊接
我們還生產(chǎn)焊管和特殊氣體用焊管。還可以實(shí)現(xiàn)交貨時(shí)間短和小批量生產(chǎn)。