1、 控制電路選用模糊PID程控技術(shù)，該技術(shù)控溫精度高，熱慣性小，溫度不過沖，性能可靠，操作簡(jiǎn)單。
2、 中真空系統(tǒng)具有真空度上下限自動(dòng)控制功能，高真空系統(tǒng)采用高壓強(qiáng)，耐沖擊分子泵
防止意外漏氣造成分子泵損壞，延長(zhǎng)系統(tǒng)使用壽命。
產(chǎn)品用途：
此款三溫區(qū)CVD生長(zhǎng)系統(tǒng)適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。
產(chǎn)品詳情：
| 名稱 | 高溫三溫區(qū)CVD設(shè)備 | |
| 型號(hào) | KJ-OTF-1700-F5 | |
| 加熱系統(tǒng) | 顯示 | LED |
| 溫度 | 1700℃ | |
| 工作溫度 | ≤1600℃ | |
| 升溫速率 | 0~15℃/min | |
| 溫區(qū) | 3 | |
| 溫區(qū)長(zhǎng)度 | 220mm | |
| 加熱元件 | MoSi2 棒 | |
| 熱電偶 | B型 | |
| 控溫精度 | ±1℃ | |
| 管尺寸 | 80 x 1400mm | |
| 材質(zhì)：氧化鋁 | ||
| 溫度控制 | PID自動(dòng)控制 | |
| 溫控方式 | 30段可編程 | |
| 真空計(jì) | 復(fù)合真空計(jì) | |
| 真空法蘭 | 帶閥門和針頭的不銹鋼真空法蘭 | |
| 電壓/功率 | 220V, 50 Hz, 10KW | |
| 真空泵系統(tǒng) | 真空泵組 （旋片泵+擴(kuò)散泵） 包括 KF25、KF50 適配器、真空泵組波紋管和帶輪移動(dòng)柜。 | 冷態(tài)極限真空6.67*10-3Pa。 |
| 質(zhì)量流量計(jì)（5氣路） | 流量范圍 | (20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) SCCM |
| 準(zhǔn)確性 | ±1.5 % F.S. | |
| 重復(fù)精度 | ±1.5 % F.S. | |
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≦10sec | |
| 工作壓差范圍 | 0.1~0.5MPa | |
| 耐壓性 | 3MPa | |
| 溫度系數(shù) | 零: ≤±0.2% F.S./℃; 跨度: ≤±0.2% F.S./℃ | |
| 工作環(huán)境溫度 | 5~45℃ | |
| 輸入信號(hào) | 0 V ~ +5.00 V | |
| 輸出信號(hào) | 0 V ~ +5.00 V | |
| 電插頭形式 | DB15針（母） | |
1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費(fèi)維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設(shè)備正常運(yùn)行。
3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù)，包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全（用戶手冊(cè)、保修手冊(cè)、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等）。
6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。
