產(chǎn)品簡介
D9650 C-SAM是世界上使用泛的超聲波掃描顯微鏡,可用于常規(guī)實驗室分析和篩選應(yīng)用。
D9650是一款專門設(shè)計用于失效分析、工藝開發(fā)、材料表征和小批量生產(chǎn)檢測的通用工具,其性能是的。
作為C-SAM聲學(xué)微成像的代表,D9650提供了的精度和可靠性,搭配版的測控軟件,提高了實驗室聲學(xué)顯微鏡的性能水平。
產(chǎn)品特性
帶有Multi-Gate 及Probing-Gate 功能的PolyGate 技術(shù),可以進行單一及多層自動聚焦成像
每頻道多達(dá)100個Gates
Windows 10 Sonolytics 2 界面,64字節(jié)處理能力
線性馬達(dá)掃描儀可掃描JEDEC托盤
帶有塔式安裝掃描參考平臺及樣品定位架,更加精準(zhǔn)
方便使用掃描區(qū)域使安裝、拆卸更加方便,可以掃描JEDEC托盤或300mm晶圓片
定量的B-Scan是Sonoscan的分析模式(Q-BAM)
B-Scan模式提供了虛擬橫截面視圖,并帶有準(zhǔn)確的極性、幅值和深度數(shù)據(jù)
產(chǎn)品應(yīng)用
超聲波成像
失效分析
規(guī)格參數(shù)
線性馬達(dá)掃描儀掃描面積 | 314×314mm(12.4×12.4 in) |
X-Y-Z軸精確度 | 0.5微米 |
數(shù)據(jù)分辨率 | 六千七百萬像素(8K) (4百萬像素(2K)標(biāo)配) |
脈沖發(fā)生器/接收器 | 500 MHz |
數(shù)據(jù)采集門控 | 每個通道有100個 |
門控 | 選1至10,000納秒 |