此款設備將實驗級別的升華機右端料端均對接手套箱,手套箱可內襯四氟或噴涂特氟能起到防腐作用,半導體材料升華儀根據材料升華溫度、分子量的差異,對于材料進行提純,參數準確,工藝可靠穩(wěn)定,實驗結果表明,單次升華可大幅度降低有機材料中的雜質金屬離子濃度,將材料的純度提升一至三個數量級。整個操作過程材料與大氣隔絕,避免了大氣中水、氧的影響以及灰塵的污染,是制備高純度半導體前驅體及相關材料的。
設備型號 | BOF-5-100V |
設備尺寸 | 1550*650*1260mm |
外管尺寸 | 100*1200mm |
加熱區(qū)長度 | 100+200+100+200+100mm |
額定功率 | 6kw |
工作溫度 | 軟件溫控保護溫600° ,設備硬件支持溫度800° |
加熱元件 | 進口KTL電阻絲 |
控溫元件 | 觸摸液晶屏+工控儀表 |
控溫精度 | ±1℃ |
沖溫幅度 | ±1℃ |
推薦升溫速率 | ±1℃ |
機械泵抽速 | ±1℃ |
分子泵抽速 | 250L/s |
極限真空 | 10^-4Pa |
顯示屏尺寸 | 10寸 |
手套箱右側配置一臺對面雙工位 | 1220*1000*900mm |