硒化爐
型號:RG-3-8
詳細(xì)描述
一、此設(shè)備主要用于銅銦鎵硒(CIGS)薄膜太陽能電池的硒化反應(yīng)處理。
CIGS薄膜太陽能電池首先用磁控濺射制備出銅銦鎵(CIG)薄膜預(yù)制層,然后在此設(shè)備中用固態(tài)硒源實(shí)現(xiàn)硒化處理,從而反應(yīng)生成CIGS薄膜太陽能吸收層。
二、設(shè)備特點(diǎn):
1、過濾器采用德國萊寶公司結(jié)構(gòu)制作,吸附力強(qiáng),便于取出清理和更換濾芯。
2、我公司采用的氦質(zhì)譜真空檢漏儀進(jìn)行壓升率檢測,可保證技術(shù)指標(biāo)的可信和準(zhǔn)確,壓升率指標(biāo)接近或低于國標(biāo)的小值。
三、主要技術(shù)參數(shù)
1、額定功率:3 Kw±10%
2、額定溫度:A區(qū)230 ℃、B區(qū)800 ℃
3、冷態(tài)極限真空度:6.67×10-3 Pa(在100℃溫度以下允許抽真空)
4、壓升率:2.0 Pa/h
5、工作區(qū)尺寸:Φ100×600 mm(直徑×長)
6、控溫區(qū)數(shù):3區(qū)
7、保護(hù)氣氛:氬氣
9、充氣壓力:≤500 Pa
10、電源:三相 380V 50Hz